Линии химической обработки пластин/подложек серии ГЕКСАР 360

НАЗАНЧЕНИЕ:

Линии химической обработки пластин/подложек предназначены для химической обработки пластин/подложек в растворах плавиковой, серной, соляной, азотной, фосфорной, уксусной кислот, перекиси водорода, аммиака и их смесей, с последующей промывкой в деионизованной воде и сушкой (или без сушки).

  • Линии обеспечивают групповую химическую обработку пластин, размещённых в  кассетах, без повреждения поверхности пластин.
  • Линии имеют модульную структуру, в каждом модуле находятся две или три технологические позиции (ванны). Объем ванны (6 л, 20 л, 25 л, 30 л) определяется размером обрабатываемых пластин и количеством размещаемых в ней кассет (1 или 2). Количество технологических позиций определяется техпроцессом.
  • Процессы химической обработки и отмывки пластин автоматизированы.
  • Предусмотрен контроль текущего состояния задаваемых технологических параметров.
  • Технологические позиции (ванны) оборудованы механически закрывающимися крышками.
  • Загрузка–выгрузка кассет с пластинами, перемещение кассет между технологическими ваннами осуществляется автоматически в соответствии с заданным технологическим маршрутом.

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ:

  • Блок подготовки и подачи химических реактивов обеспечивает автоматическое заполнение ванн, поддержание уровня и слив отработанных химических реактивов в емкости для транспортировки на утилизацию, при необходимости может быть организован рецикл рабочих сред.
  • Конструкцией линии предусмотрена фильтрация растворов при заполнении ванн.
  • Контроль отмывки пластин в ваннах каскадной промывки с деионизованной водой осуществляется с помощью измерения сопротивления воды, которое производится с помощью кондуктометрического датчика, расположенного в кармане перелива;
  • Ванны химической обработки оснащены «азотным ножом» для направления  химических паров при открытой крышке, от оператора в вытяжную вентиляцию;
  • Ванны для химобработки изготавливаются из фторопласта (или футеруются фторопластом или покрытием Tefzel), проточные части, контактирующие с реагентами и деионизованной водой, изготавливаются из фторопласта, станины модулей и ванны промывки выполнены из полипропилена.
  • Для поддержания температурного режима рабочих ванн используются нагревательные элементы, спроектированные для работы с химически-агрессивными реактивами – они имеют фторопластовую оболочку;
  • Все рабочие ванны с нагревателями оснащены датчиками уровня и температуры.
  • Каждый технологический модуль оснащается фильтр-вентиляционным модулем для подачи ламинарного потока воздуха, подключается к системе вытяжной вентиляции.

СОСТАВ ЛИНИИ :

  • модуль загрузки-выгрузки кассет с изделиями;
  • агрегат технологической обработки (АТО), состоящий из модулей, содержащих необходимые ванны для проведения технологического процесса;
  • распределительный модуль приёма и хранения химических реагентов;
  • в состав АТО входит отдельная позиция для сушки пластин;
  • в состав АТО входят воздуховоды для подключения к внешней (цеховой) системе вытяжной вентиляции и локальная система подачи ламинарного потока очищенного воздуха в зону технологической обработки со степенью очистки Н14;
  • в состав АТО входят блоки и узлы пневмогидравлики, обеспечивающие проведение технологических процессов;
  • в состав АТО входят блоки и узлы подготовки и подачи жидких агрессивных технологических сред;
  • модуль управления, задания технологических программ обработки, маршрута транспортировки кассет с пластинами;
  • электрический силовой блок;
  • автоматизированную систему транспортировки, загрузки (выгрузки) кассет в ванны (из ванны) и их переноса между рабочими позициями в соответствии с заданным технологическим маршрутом.
Copyright MAXXmarketing GmbH