Линии/установки химической обработки пластин/подложек серии ЛАДА-М

НАЗНАЧЕНИЕ:

Линии/установки химической обработки пластин/подложек предназначены для химической обработки пластин/подложек в растворах плавиковой, серной, соляной, азотной, фосфорной, уксусной кислот, перекиси водорода, аммиака и их смесей, с последующей промывкой в деионизованной воде и сушкой (или без сушки).

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОБОБЕННОСТИ:

  • Линии/установки обеспечивают групповую химическую обработку пластин, размещённых в  кассетах, без повреждения поверхности пластин.
  • Линии/установки имеют модульную структуру, в каждом модуле находятся две или три технологические позиции (ванны). Объем ванны (6 л, 20 л, 25 л, 30 л) определяется размером обрабатываемых пластин и количеством размещаемых в ней кассет (1 или 2). Количество технологических позиций определяется техпроцессом.
  • Процессы химической обработки и отмывки пластин автоматизированы.
  • Предусмотрен контроль текущего состояния задаваемых технологических параметров.
  • Технологические позиции (ванны) оборудованы механически закрывающимися крышками.
  • Загрузка–выгрузка кассет с пластинами, перемещение кассет между технологическими ваннами осуществляется вручную.
  • Блок подготовки и подачи химических реактивов обеспечивает автоматическое заполнение ванн, поддержание уровня и слив отработанных химических реактивов в емкости для транспортировки на утилизацию, при необходимости может быть организован рецикл рабочих сред.
  • Конструкцией установки предусмотрена фильтрация растворов при заполнении ванн.
  • Контроль отмывки пластин в ваннах каскадной промывки с деионизованной водой осуществляется с помощью измерения сопротивления воды, которое производится с помощью кондуктометрического датчика, расположенного в кармане перелива;
  • Ванны химической обработки оснащены «азотным ножом» для направления  химических паров при открытой крышке, от оператора в вытяжную вентиляцию;
  • Ванны для химобработки изготавливаются из фторопласта (или футеруются фторопластом или покрытием Tefzel), проточные части, контактирующие с реагентами и деионизованной водой, изготавливаются из фторопласта, станины модулей и ванны промывки выполнены из полипропилена.
  • Для поддержания температурного режима рабочих ванн используются нагревательные элементы, спроектированные для работы с химически-агрессивными реактивами – они имеют фторопластовую оболочку;
  • Все рабочие ванны с нагревателями оснащены датчиками уровня и температуры.
  • Каждый технологический модуль оснащается фильтр-вентиляционным модулем для подачи ламинарного потока воздуха, подключается к системе вытяжной вентиляции.

ТИПОВЫЕ ВАННЫ:

  • Ванна химической обработки
  • «Стоп-ванна»
  • Ванна финишной отмывки
  • Ванна отмывки держателей и кассет

ТИПОВЫЕ СОСТАВЫ МОДУЛЕЙ (ВАННЫ 6 л):

ТИП 1 (стандарт 1)
    Ванна химической обработки
    «Стоп-ванна»
    Ванна финишной отмывки

ТИП 2 (стандарт 2)
    Ванна химической обработки
    «Стоп-ванна»
    Ванна химической обработки

ТИП 3 (отмывка)
    «Стоп-ванна»
    Ванна финишной отмывки
    Ванна отмывки держателей и кассет

ТИПОВЫЕ СОСТАВЫ МОДУЛЕЙ (ВАННЫ 20 - 30 л):

ТИП 1 (стандарт)
    Ванна химической обработки
    «Стоп-ванна»

ТИП 2 (отмывка 1)
    «Стоп-ванна»
    Ванна финишной отмывки

ТИП 3 (отмывка 2)
    Ванна финишной отмывки
    Ванна отмывки держателей и кассет

* Состав линии и модулей соответственно формируется согласно технологическим требованиям Заказчика

Copyright MAXXmarketing GmbH