Установка химической обработки пластин сапфира (Установка серии ЛАДА-М)

НАЗНАЧЕНИЕ:
Установка предназначена для химической обработки пластин сапфира диаметром 100 мм и 150 мм в растворах азотной, соляной, серной, ортофосфорной кислот, перекиси водорода и их смесей с последующей промывкой в деионизованной воде.

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:
Установка состоит из 3-х технологических модулей, в каждом из которых по 2 технологические позиции – ванны объемом 20 л
• В состав установки входят:
- 2 блока для  подачи очищенного воздуха в зону химобработки,
- 3 блока подачи химических реактивов,
- 3 блока нагрева деионизованной воды,
- 3 прибора для изменения и регулировки температуры химического раствора;
- устройство для измерения  проводимости деионизованной воды и водородного показателя pH;
- сенсорная панель управления;
• Наличие азотного барботажа в ваннах травления для улучшения равномерности обработки;
• Наличие азотного «ножа» под ваннами травления, исключающего попадание паров травления в зону обслуживания;
• Установку следует эксплуатировать в помещении класса Р5(100) и Р4(10) по ГОСТ ИСО 14644-1-2002 (10) по ГОСТ Р50766-95.

Особенности  установки:

  • групповая кассетная обработка пластин;
  • установка предназначена для работы с пластинами диаметром 100 и 150 мм, помещенными в кассеты;
  • контроль текущего состояния задаваемых технологических параметров;
  • мобильный блок подачи химических реактивов обеспечивает полуавтоматическое заполнение ванн;
  • контроль отмывки пластин в ваннах финишной промывки с деионизованной водой осуществляется с помощью измерения сопротивления воды, которое производится с помощью кондуктометрического датчика;
  • станины модулей установки выполнены из белого полипропилена;
  • ванны для химобработки и проточные части, контактирующие с реагентами и деионизованной водой, изготавливаются из фторопласта;
  • все ванны снабжены специальными крышками;
  • для удаления отработанного химического раствора из ванн химобработки используется специальный насос, в результате обеспечивается нейтрализация химраствора перед сбросом в кислотно-щелочную канализацию или в спецёмкости для сбора отработанного химреактива;
  • для поддержания температурного режима рабочих ванн используются погружные компактные фторопластовые низковольтные нагревательные элементы, спроектированные для работы с химически-агрессивными реактивами (имеют фторопластовую оболочку);
  • все рабочие ванны с нагревателями оснащены датчиками уровня и температуры, для контроля уровня в ваннах химобработки применяются датчики (стойкие к воздействию агрессивных сред).

Технологические возможности установки:
-    химическая обработка  пластин;
-    промывка в «стоп – ванне»;
-    финишная промывка в деионизованной воде.

Технические  характеристики  установки:

Диаметр обрабатываемых пластин, мм 100, 150
Количество кассет, размещаемых в одной ванне, шт.  
для диметра 100 2
для диаметра 150 1
Ёмкость кассет, шт. пластин 25
Диапазон регулирования температуры реагентов в ваннах для  химической обработки, °С (40 ÷ 150) ± 2
Время быстрого слива реагента из стоп - ванны, с менее 10
Напряжение электропитания погружного фторопластового нагревателя, В 12 ÷ 48
Мощность нагревателей в ваннах  для химической обработки, кВт 1,8
Габаритные размеры технологического модуля установки, мм: 2552х930х2362 
Copyright MAXXmarketing GmbH