Комплекс химического/иммерсионного осаждения металлических слоев ГЕКСАР

Назначение:
Комплекс предназначен для селективного автокаталитического осаждения металлических слоев никеля/золота на контактные площадки кристаллов, расположенных на полупроводниковой пластине.

Состав комплекса:
• модуль загрузки кассет;
• агрегат технологической обработки (АТО), состоящий из модулей, содержащих соответствующие ванны для проведения технологического процесса; АТО изолирован от внешней среды; в состав АТО входят воздуховоды для подключения к внешней (цеховой) системе вытяжной вентиляции и локальная система подачи ламинарного потока очищенного воздуха в зону технологической обработки со степенью очистки Н14;
• модуль выгрузки кассет;
• модуль управления, задания технологических программ обработки и маршрута транспортировки кассет с пластинами;
• блок силовой;
• блоки пневмогидравлики;
• блоки подготовки и подачи жидких агрессивных технологических сред;
• блоки приёма и хранения отработанных реагентов;
• система транспортировки:
- загрузка кассет с пластинами на комплекс через шлюз;
- загрузки (выгрузки) кассет в ванны (из ванн) и переноса кассет между рабочими позициями в соответствии с заданным маршрутом;
- выгрузка кассет с пластинами из комплекса через шлюз.
• станина. 

Отличительные особенности:

  • базовые технологические операции комплекса предполагают подготовку металла контактных площадок, нанесение слоев никеля и золота, межоперационную и финальную очистки и сушку пластин;
  • конструкцией комплекса предполагается групповая обработка до 12 пластин диаметром 200 мм; также возможно переоснащение системы передачи кассеты между операциями для работы с пластинами диаметром 150 мм;
  • система поддержания уровня рабочих реактивов, а также система промежуточной регенерации и дозирования полностью автоматизированы;
  • модульное исполнение комплекса предполагает изменение технологического процесса по необходимости, путем добавления или демонтажа отдельных модулей;
  • модули сконструированы с учетом максимального упрощения процесса обслуживания исполнительных устройств и блоков без демонтажа смежных частей комплекса;
  • конструкция комплекса предполагает организацию технологического процесса с загрузкой из «чистой зоны», однако проведение технического обслуживания и размещение основных элементов организовано вне «чистой зоны» для предотвращения нарушения условий проведения смежных процессов;
  • комплекс смонтирован на каркасе из защищенного химстойким покрытием алюминиевого профиля для исключения возможной коррозии металла даже в случае непреднамеренной аварийной ситуации, связанной с утечкой химических реактивов;
  • в конструкции отдельных модулей предусмотрена аварийная сигнализация об утечке рабочих жидкостей;
  • для поддержания температурного режима рабочих ванн используются нагревательные элементы, спроектированные для работы с химически-агрессивными реактивами; все рабочие ванны с нагревателями оснащены датчиками уровня и температуры;
  • конструкцией модулей предусмотрено очищение растворов при помощи фильтров со сменными картриджами;
  • в конструкции комплекса предусмотрено подключение к внешней вытяжной вентиляции над загрузочным и рабочими модулями, обеспечивающей отвод вредных веществ из воздуха рабочей зоны до уровня ниже ПДК согласно ГОСТ 12.1.005;
  • в конструкции комплекса предусмотрены прозрачные панели с передней стороны для обеспечения визуального контроля за процессом перегрузки кассет, а также основными технологическими процессами;
  • в рабочей зоне кассета с пластинами перемещается с помощью манипулятора по заданному маршруту и обрабатывается в соответствии с заданными режимами обработки в каждом модуле;
  • каждый из модулей имеет сетевое сообщение с центральным обрабатывающим блоком на основе промышленного компьютера с интерфейсом управления на основе сенсорного экрана.

Система управления комплексом:

Система управления построена на базе промышленного ПК.

Многоуровневая система управления проводит непрерывный мониторинг технологических параметров и осуществляет диагностику состояний всех модулей и систем комплекса.

Программное обеспечение комплекса обеспечивает:

  • гибкое программирование технологического процесса на каждом модуле и блоках комплекса;
  • составление и хранение библиотеки технологических программ для каждого модуля,
  • гибкое программируемое управление параметрами модулей и блоков комплекса, дозаторов реагентов и нагревателей в пределах их диапазонов регулирования;
  • контроль текущего состояния всех  исполнительных  механизмов  и устройств каждого модуля и блока комплекса;
  • контроль текущего состояния сервисных систем;
  • контроль текущего состояния задаваемых технологических параметров;
  • диагностику работоспособности комплекса, локализацию неисправностей и их возможную причину;
  • формирование  и  хранение  в оперативной и постоянной памяти необходимого  количества технологических рецептов на  каждый  технологический модуль;
  • формирование и хранение в оперативной и  постоянной  памяти  необходимого количества  технологических маршрутов обработки пластин на комплексе.

Технические характеристики комплекса

Диаметр обрабатываемых пластин, мм 200
Количество одновременно обрабатываемых пластин, шт 12
Максимальная доля металлизированной площади поверхности от всей площади пластины, % 20
Линейные размеры контактной площадки, мкм более 40
Толщина покрытия никеля, мкм до 4
Толщина сплошного покрытия золота, мкм до 0,1
Количество рабочих ванн, шт 15
Позиция сушки пластин, шт 1
Точность поддержания температуры, ± °С 1
Длительность технологического процесса над одной партией пластин в непрерывном режиме работы комплекса, мин не более 90
Диапазон задания времени обработки на каждой ванне и позиции, с 1 ÷ 999
Потребляемая мощность, кВт не менее 85
Вес, кг не менее 1500
Габаритные размеры комплекса, мм 9800х1400х2400
Copyright MAXXmarketing GmbH