УСТАНОВКА ПРОМЫВКИ И СУШКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН «УСП-150»

НАЗНАЧЕНИЕ:

Промывка и сушка полупроводниковых пластин в автоматическом режиме методом центрифугирования.

 

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:  

  • Обработка осуществляется по одной кассете;
  • Промывка пластин с применением деионизованной воды;
  • Удаление капельной влаги центрифугированием;
  • Ускоренный процесс сушки пластин (подача азота в камеру с нагревом до 50 0С);
  • Установка предназначена для эксплуатации в помещениях класса Р(5)100 («чистое помещение» класса ИСО 5 по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000). 

  

ХАРАКТЕРИСТИКИ  Ед. изм.  «УСП-150»
Диаметр обрабатываемых пластин мм

 100, 150

Толщина обрабатываемых пластин мм 0,5; 0,6; 0,8
Количество пластин в кассете шт. 25
Время сушки с (60 ÷ 900) ±3%
Диапазон регулирования скорости вращения ротора центрифуги об./мин 200 ÷ 2500
Диапазон регулирования температур сушки в камере 0С 45 ÷ 65
Мощность потребляемая установкой, не более кВт 1,5
Габаритные размеры установки (ДхШхВ) мм 440х740х1417

   

Teh

 

Copyright MAXXmarketing GmbH