УНИВЕРСАЛЬНЫЙ ВАКУУМНЫЙ ПОСТ «СИАМ»

НАЗНАЧЕНИЕ:

Установка магнетронного напыления позволяет получать функциональные тонкопленочные покрытия практически из любых металлов, сплавов и полупроводниковых материалов. В зависимости от рабочей среды (наличия кислорода, азота, аргона) можно получать пленки различных составов.

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:

  • 3 магнетронных источника;
  • 2 магистрали для газов высокой чистоты;
  • Источники магнетронного распыления позволяют более экономно использовать мишени;
  • Обработка до 5 образцов за цикл;
  • Равномерность напыления;
  • Источники питания магнетрона мощностью до 3 кВт;
  • Запатентованная магнитная система;
  • Широкий диапазон регулировок газовой смеси во время процесса;
  • Компактное размещение навесной вертикальной оснастки;
  • Высокая точность контроля осаждения на основе централизованной системы.

 

Copyright MAXXmarketing GmbH