«ПЛАЗМА-150»

НАЗНАЧЕНИЕ:

Плазмохимическое травление пленок SiO2, ФСС, поли-Si, Si3N4 через фоторезистивную маску с высокой скоростью, равномерностью и точностью. Позволяет формировать минимальный размер топологического рисунка до 0,6 мкм.

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:

  • Индивидуальная обработка с автоматической загрузкой/выгрузкой пластин из кассеты в кассету;
  • Комбинированная система возбуждения плазмы РИТ-ПХТ;
  • Автоматический контроль расхода газов, давления, ВЧ-мощности;
  • Микропроцессорный контроль параметров технологического процесса.
Copyright MAXXmarketing GmbH