«Плазма-95А»

НАЗНАЧЕНИЕ:

Назначением специализированного стенда для ионно-плазменной обработки явля¬ется очистка полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений и остатков оксидных слоев в инертной, либо слабой восстановительной среде. Эта обработка повышает адгезионные характеристики полупроводниковой структуры, восста¬навливает ее функциональные свойства после промежуточных операций, затраги¬вающих элементный состав и кристалли-ческую структуру поверхности.

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:

  • Индивидуальная система обработки.
  • Возможность высокоточного бездефектного чистого травления малых толщин поверхностных слоев полупроводниковых пластин в инертной, либо слабо восстановительной атмосфере.
  • Неактивированный рабочий газ является абсолютно инертной средой, не взаимодействующей с полупроводниковыми соединениями. Процесс травления осуществляется только в результате плазменной активации этой газовой атмосферы.
  • Водоохлаждаемый термостатируемый столик позволяет добиваться равномерности травления поверхности благодаря устранению градиента температур на поверхности пластины.
  • Надежная система подъема пластины с использованием прецизионной системы электропривода.
  • Манипулятор и кассета с автоматическим центрированием пластины, за счет геометрии направляющих выступов.
  • Безмасляная технология получения вакуума на основе ТМН.
  • Автоматизированная система газонапуска, управляемая при помощи промышленного компьютера и контролируемая широкодиапазонными вакуумными датчиками.
  • Автоматизированный контроль, осуществляемый на основе промышленного компьютера с разработанным ПО и системы датчиков контроля.
  • Азотный бокс, присоединенный к шлюзу.
Copyright MAXXmarketing GmbH