Полуавтоматическая установка нанесения фоторезиста с термообработкой НФТО-150П

НАЗНАЧЕНИЕ:

Нанесение фоторезистивных плёнок на гладкую и рельефную  поверхность  пластин и подложек, с последующей термообработкой.

Состав установки:

  • модуль нанесения фоторезиста;
  • блок электрический;
  • система управления установкой;
  • система термообработки фоторезиста;
  • ёмкость для растворителя;
  • ёмкость для сбора отработанного фоторезиста.

Технологические возможности установки:

  • подача фоторезиста на пластину в статическом и динамическом режимах (сканирование);
  • подача фоторезиста насосом-дозатором;
  • удаление фоторезиста с торца пластин *;
  • удаление краевого валика *
  • автоматическая промывка ванны растворителем;
  • автоматически регулируемая вытяжная система модуля нанесения.

Примечание * - данные опции выполняются только при обработке пластин круглой формы.

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:

  • Нанесение фоторезистивных пленок методом центрифугирования.
  • Термообработка фоторезистивных пленок на «горячей плите».
  • Индивидуальная обработка подложек.
  • Быстрая переналадка на любой размер подложки в пределах, указанных в технических данных на установку.
  • Автоматическое регулирование вытяжной системы модуля нанесения.
  • Установка соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р(10)100 («чистое помещение» класса 5 ИСО по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2002).


ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

Диаметр обрабатываемых пластин, мм 51, 76, 100, 150
Размер обрабатываемых подложек, мм 25х25, 48х60, 76х76, 102х102
Диапазон задания скорости вращения ротора центрифуги, об/мин. 300 ÷ 7000
Дискретность скорости вращения ротора центрифуги, об/мин. 10
Диапазон задания ускорения вращения ротора центрифуги, (об/мин.)/с 10 ÷ 10000
Дискретность ускорения ротора центрифуги, (об/мин.)/с 100
Диапазон и точность поддержания температуры плиты, °С 700 ÷ 1200,
  1200 ÷ 1500,
  1500 ÷ 2000,
  ± 0,3, ± 0,5, ± 1
Величина зазора, на котором проводится термообработка, мм 0 ÷ 0,15
Диапазон задания времени обработки, с 1,0 ÷ 999
Дискретность задания времени обработки, с 1
Диапазон дозирования фоторезиста, мл 0,5 ÷ 5,0
Электропитание:  
сеть переменного тока, В 380/220
частота, Гц 50
Мощность потребляемая установкой, кВт 2,5
Габаритные размеры (L x B x H), мм 610 х 480 х 1075
Copyright MAXXmarketing GmbH