Автоматическая линия проявления фоторезиста на поверхности пластин ЛПФА-150

НАЗНАЧЕНИЕ:

Автоматическая трековая установка проявления фоторезиста, предназначенная для  фотолитографического обеспечения производства СБИС и дискретных п/п приборов на полупроводниковых пластинах диаметром 100 / 150 мм.

  • Установка состоит из набора технологических устройств, осуществляющих различные виды фотолитографической обработки и размещённых в едином каркасе.
  • Технологическое устройство  представляет собой унифицированный блок, состоящий из 2-х модулей, каждый из которых выполняет определённую технологическую операцию, объединённых  однокоординатной транспортной системой.
  • Транспортная система обеспечивает перенос обрабатываемых изделий внутри технологического устройства и осуществляет перегрузку пластин на соседние технологические устройства.
  • Загрузка на треки и приём в кассету обрабатываемых изделий  осуществляется с помощью загрузочных модулей  использующих стандартные кассеты фирмы  Integris.
  • Транспортная система переносит пластины по треку последовательно, с позиции на позицию, только в одном направлении.
  • Приёмное устройство так же включает в себя  позицию охлаждения  обрабатываемых изделий перед загрузкой в кассету.
  • Многоуровневая система управления проводит непрерывный мониторинг технологических параметров и осуществляет диагностику состояний механизмов и систем.

Типы технологических устройств, из которых может формироваться трек:

  • устройство термоподготовки  (модуль термообработки на горячей плите и модуль охлаждения на холодной плите);
  • устройство проявления и задубливания (модуль центрифугирования (проявления, промывки и удаления капельной влаги) и модуль термообработки);
  • устройство  термостабилизации (модуль охлаждения на холодной плите);
  • устройство термообработки 2 (2 модуля термообработки).

Компоновка треков из унифицированных технологических устройств позволяет реализовывать разнообразные технологические маршруты обработки.

  • Максимальный состав 1 трека: загрузчик, приёмник и 3 технологических устройства.
  • Минимальный состав 1 трека: загрузчик, приёмник и 1 технологическое устройство.

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:

  • Автоматическая загрузка пластин из кассеты на позицию обработки, с последующим переносом пластин с позиции на позицию.
  • Обработка пластин на «горячей плите».
  • Термостабилизация пластин на «холодной плите».
  • Проявление фоторезистивных пленок методом полива проявителя на вращающуюся поверхность пластины.
  • Термообработка фоторезистивных пленок на «горячей плите».
  • Термостабилизация пластин на «холодной плите» перед приемкой обработанных пластин в кассету.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Диаметр обрабатываемых пластин, мм 76, 100, 150
Устройство термообработки пластин:  
Диапазон поддержания температуры «горячей плиты», °С 70 ÷ 200 ± 0,5 %
Величина зазора, на котором проводится термообработка, мм 0 ÷ 0,15
Устройство термостабилизации пластин:  
Равномерность распределения температуры по плите, °С ± 0,5
Устройство проявления фоторезиста:  
Скорость вращения ротора центрифуги, об/мин. 300 ÷ 7000
Дискретность скорости вращения ротора центрифуги, об/мин. 10
Диапазон регулирования температуры проявителя, °С 18 ÷ 50  ± 0,5
Устройство термообработки фоторезистивного слоя:  
Диапазон поддержания температуры «горячей плиты», °С 70 ÷ 200 ± 0,5 %
Величина зазора, на котором проводится термообработка, мм 0 ÷ 0,15
Мощность потребляемая установкой, кВт 6
Габаритные размеры со стойкой в рабочей зоне (L x B x H), мм 2375 x 500 x 1300

 

 

 

Copyright MAXXmarketing GmbH