Полуавтоматическая установка проявления фоторезиста с термообработкой ПФТО-150П

НАЗНАЧЕНИЕ:

Проявление фоторезистивных пленок на гладких и рельефных поверхностях пластин и подложках с последующей термообработкой.

Состав установки:

  • модуль проявления фоторезиста;
  • модуль термообработки;
  • блок электрический;
  • система управления установкой;
  • система подачи проявителя;
  • ёмкость для проявителя;
  • станина.

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:

  • Проявление фоторезистивных пленок методом полива проявителя на вращающуюся поверхность пластины.
  • Подача проявителя на пластину в статическом и динамическом режимах (сканирование).
  • Термообработка фоторезистивных пленок на «горячей плите».
  • Многоуровневая система управления установкой позволяет проводить непрерывный мониторинг технологических параметров и осуществлять диагностику состояния механизмов и систем.
  • Установка выполнена в соответствии с ГОСТ 12.2.003, ГОСТ 12.2.007.0., соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р(10)100 («чистое помещение» класса 5 ИСО по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2002).

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

Диаметр обрабатываемых пластин, мм 51, 76, 100, 150
Размер обрабатываемых подложек, мм 25х25, 48х60, 76х76, 102х102
Диапазон задания скорости вращения ротора центрифуги, об/мин. 300 ÷ 7000
Дискретность скорости вращения ротора центрифуги, об/мин. 10
Диапазон задания ускорения вращения ротора центрифуги, (об/мин.)/с 10 ÷ 10000
Дискретность ускорения ротора центрифуги, (об/мин.)/с 100
Диапазон и точность поддержания температуры плиты, °С 700 ÷ 1200,
  1200 ÷ 1500,
  1500 ÷ 2000,
  ± 0,3, ± 0,5, ± 1
Величина зазора, на котором проводится термообработка, мм 0 ÷ 0,15
Диапазон задания времени обработки, с 1,0 ÷ 999
Дискретность задания времени обработки, с 1
Диапазон дозирования проявителя, мл 0,5 ÷ 5,0
Электропитание:  
сеть переменного тока, В 380/220
частота, Гц 50
Мощность потребляемая установкой, кВт 2,5
Габаритные размеры (L x B x H), мм 610 х 480 х 1075
Copyright MAXXmarketing GmbH