УСТАНОВКА ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ «УХО-153»

НАЗНАЧЕНИЕ:

Выполнение технологических операций на шаблонных подложках при изготовлении шаблонов в автоматическом режиме.

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ: 

  • Проявление фоторезиста;
  • Травление маскирующего слоя;
  • Удаление фоторезиста;
  • Промывка деионизованной водой;
  • Сушка центрифугированием;
  • Индивидуальная обработка шаблонных подложек в центрифуге;
  • Термостабилизация применяемых реактивов;
  • Пульсирующая экономичная подача реактивов в процессе обработки;
  • Многоуровневая система управления установкой позволяет проводить непрерывный мониторинг технологических параметров и осуществлять диагностику состояния механизмов и систем;
  • Установка соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р(10)100 («чистое помещение» класса 5 ИСО по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000).

 

oblast-YHO-153

Copyright MAXXmarketing GmbH