Установка двухсторонней индивидуальной отмывки фотошаблонов УОФ-153А-1

НАЗНАЧЕНИЕ:

Автоматическое проведение процесса двухсторонней отмывки фотошаблонов путем последовательной обработки поверхностей.
Кассетная загрузка и выгрузка фотошаблонов.
Установка может быть оборудована зоной обеспыливания.

Состав установки:

  • блоки перемещения кассет;
  • блоки выдачи и загрузки фотошаблонов;
  • блок гидромеханической обработки;
  • блок центрифуги;
  • блок сушки;
  • блок силовой;
  • блок микропроцессорного управления;
  • блок подготовки и подачи реагентов;
  • станина

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:

  • Двухсторонняя очистка фотошаблонов в блоке гидромеханической очистки раствором и деионизованной водой.
  • Двухсторонняя мегазвуковая очистка поверхности фотошаблона на центрифуге, промывка и сушка центрифугированием.
  • Сушка фотошаблонов при повышенной температуре.
  • Охлаждение фотошаблона перед загрузкой в кассету.
  • Дополнительный механизм подъема фотошаблона на позиции сушки, что позволяет сделать время сушки независимым от времени обработки на предыдущих позициях.
  • Наличие двух транспортеров, позволяющих осуществлять более гибкую систему обработки и устранить зависимость выполнения операций друг от друга.
  • Управление установкой происходит от микропроцессора.
  • Многоуровневая  система  управления  установкой  позволяет проводить непрерывный мониторинг технологических параметров и осуществлять диагностику состояния механизмов и систем.
  • Установка соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р(10)100 («чистое помещение» класса 5 ИСО по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000).

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

Размер обрабатываемых фотошаблонов, мм 102 х 102 х 2,3
  127 х 127 х 2,3
  153 х 153 х 3,3
Количество шаблонов в кассете, шт. 20
Диапазон времени выполнения каждой операции, с 1 ÷ 999
Диапазон времени подачи раствора на блоке гидромеханической обработки, с 1 ÷ 99
Тип мегазвукового излучателя пьезокерамика
Частота мегазвуковой обработки, мГц 1,65
Диапазон регулирования угловой скорости вращения ротора центрифуги, об/мин 300 ÷ 3000
Диапазон регулирования температуры плиты на блоке сушки, ºС 80 ÷ 120
Мощность потребляемая установкой, не более кВт 3,2
Габаритные размеры (L x B x H), мм 1642 x 940 x 1190
Copyright MAXXmarketing GmbH