Полуавтоматическая установка нанесения фоторезиста с термообработкой НФТО-150П

НАЗНАЧЕНИЕ:

Нанесение фоторезистивных плёнок на гладкую и рельефную  поверхность  пластин и подложек, с последующей термообработкой.

Состав установки:

  • Модуль нанесения фоторезиста;
  • Блок электрический;
  • Система управления установкой;
  • Система термообработки фоторезиста;
  • Емкость для растворителя;
  • Емкость для сбора отработанного фоторезиста.

Технологические возможности установки:

  • Подача фоторезиста на пластину в статическом и динамическом режимах (сканирование);
  • Подача фоторезиста насосом-дозатором;
  • Удаление фоторезиста с торца пластин *;
  • Удаление краевого валика *;
  • Автоматическая промывка ванны растворителем;
  • Автоматически регулируемая вытяжная система модуля нанесения.

 * - данные опции выполняются только при обработке пластин круглой формы.

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:

  • Нанесение фоторезистивных пленок методом центрифугирования;
  • Термообработка фоторезистивных пленок на «горячей плите»;
  • Индивидуальная обработка подложек;
  • Быстрая переналадка на любой размер подложки в пределах, указанных в технических данных на установку;
  • Автоматическое регулирование вытяжной системы модуля нанесения;
  • Установка соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р(10)100 («чистое помещение» класса 5 ИСО по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2002).

Teh


ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

ХАРАКТЕРИСТИКИ Ед. изм. «НФТО-150П»
Диаметр обрабатываемых пластин мм 51, 76, 100, 150
Размер обрабатываемых подложек мм 25х25, 48х60, 76х76, 102х102
Диапазон задания скорости вращения ротора центрифуги  об/мин. 300 ÷ 7000
Дискретность скорости вращения ротора центрифуги об/мин. 10
Диапазон задания ускорения вращения ротора центрифуги (об/мин.)/с 10 ÷ 10000
Дискретность ускорения ротора центрифуги  (об/мин.)/с 100
Диапазон и точность поддержания температуры плиты:    
  700 ÷ 1200 °С ± 0,3
  1200 ÷ 1500 ± 0,5
  1500 ÷ 2000 ± 1
Величина зазора, на котором проводится термообработка мм 0 ÷ 0,15
Диапазон задания времени обработки с 1,0 ÷ 999
Дискретность задания времени обработки с 1
Диапазон дозирования фоторезиста мл 0,5 ÷ 5,0
Электропитание:    
 - сеть переменного тока В 380/220
 - частота Гц 50
Мощность потребляемая установкой кВт 2,5
Габаритные размеры (ДxШxВ) мм 610 х 480 х 1075
Copyright MAXXmarketing GmbH