Кластерные линии фотолитографии

НАЗНАЧЕНИЕ:

Кластерные линии фотолитографии, объединяющие операции формирования фоторезистивной маски для технологического процесса с проектными нормами до 0.35÷0,18 мкм на пластинах диаметром 150 и 200 мм, представляет собой высокотехнологичное оборудование для выполнения этапов очистки пластин, обработки промотором адгезии, нанесения фоторезиста, сушки, термостабилизации, проявления.

 

Teh

CОСТАВ КЛАСТЕРНОЙ ЛИНИИ ФОТОЛИТОГРАФИИ ДЛЯ АВТОНОМНОЙ РАБОТЫ (БАЗОВЫЙ ВАРИАНТ):

  • модуль загрузки/разгрузки (4 кассеты) – 1 шт.;
  • модуль нанесения фоторезиста – 1 шт.;
  • модуль нанесения антиотражающего покрытия – 1 шт.;
  • модуль проявления фоторезиста – 1 шт.;
  • модуль мегазвуковой обработки – 1 шт.;
  • модуль обработки в парах ГМДС – 1 шт.;
  • модуль термообработки этажерочного типа (3 плиты) – 2 шт.;
  • модуль термостабилизации этажерочного типа (3 плиты) – 2 шт.;
  • транспортная система кластерной линии – центральный робот;
  • станина для размещения модулей подачи ламинарного потока очищенного воздуха;
  • блок задания технологических программ обработки и отображения информации о работе кластерной линии;
  • блок управления работой кластерной линии;
  • вспомогательное оборудование кластерной линии:
  • блоки подготовки и подачи реагентов на рабочие позиции модулей;
  • блоки термостабилизации фоторезиста и проявителя и контроля уровня;
  • блок приёма и хранения отработанных реагентов.

СОСТАВ КЛАСТЕРНОЙ ЛИНИИ ФОТОЛИТОГРАФИИ (ДЛЯ РАБОТЫ СО СТЕППЕРОМ):

  • модуль мегазвуковой очистки– 1 шт.;
  • модуль термообработки в парах ГМДС – 1 шт.;
  • модуль термостабилизации – 2 шт.;
  • модуль нанесения (фоторезиста) – 1 шт.;
  • модуль нанесения (антиотражающего покрытия) – 1 шт.;
  • модуль термообработки этажерочного типа (3 плиты) – 2 шт.;
  • модуль проявления фоторезиста – 1 шт.;
  • модуль загрузки-выгрузки (2 кассеты)– 1 шт.;
  • модуль перемещения робота – 1 шт.;
  • модуль подачи ламинарного потока фильтрованного воздуха (4 блока)– 1 шт.;
  • модуль транспортный (связь со степпером) - 1 шт.;
  • блок задания программ и отображения информации – 1 шт.
  • бокс технологический (подготовка и подача технологических сред) – 1шт.;*
  • бокс электронный (управление работой всей кластерной линией) – 1 шт.*

* Данные боксы располагаются вне кластерной линии и могут находиться в технической зоне

Teh

ОСОБЕННОСТИ:

  • Кластер может работать в двух форматах - автономно и в связи со степпером, для чего имеет в своем составе модуль загрузки и автоматической связи со степпером. Фотолитографический кластер позволяет проводить операции по формированию слоя резиста перед экспонированием и операции проявления и задубливания резиста после экспонирования;
  • Модульно-кластерные линии представляют собой набор стандартизованных технологических модулей, осуществляющих различные виды фотолитографической обработки, размещённых в контролируемой воздушной среде на общей несущей раме замкнутой конфигурации и объединённых единым транспортным устройством в виде специализированного робота, размещённого на линейном транспорте, для перемещения кремниевых пластин от модуля к модулю. Модульная структура обеспечивает быстрое извлечение технологических модулей, блоков и систем для ремонта и профилактического обслуживания;
  • Благодаря модульному исполнению, конструктивно кластер может быть оптимально выстроен под задачи реализуемого технологического процесса и соответствует требованиям полной автоматизации. Кластерный принцип также распространяется и для технологических процессов обработки подложек из других материалов и с другими размерами и геометрией, что позволяет применять платформу как для прикладных исследований и разработок, так и для серийного выпуска продукции.

Teh

Copyright MAXXmarketing GmbH