1961- Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения (НИИПМ) был создан на основании Постановления ЦК КПСС и Совета Министров СССР №78-27 от 24.01.61 г. со специализацией в области научно-исследовательских и опытно-конструкторских разработок по созданию механизированных линий и отдельных видов технологического и испытательного оборудования для производства полупроводниковых приборов и интегральных схем.

1962- Начало строительства предприятия на отведенной промышленной площадке.

1964- Разработаны установки для сборки полупроводниковых приборов.

1965- Изготовлены первые единицы оборудования для водоподготовки.

1967- Основным направлением деятельности НИИ стала разработка и изготовление комплексных линий по изготовлению полупроводниковых приборов, оборудования для технологической и механической обработки пластин и кристаллов, оборудования для сборочных, технологических и испытательных операций.

1968- Разработана первая установка для проведения процессов фотолитографии.

1969- В месте с другими предприятиями электронной промышленности НИИПМ вошел в состав НПО "Электроника". Разработана первая в СССР установка плазменной обработки ПУФ-80 для удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин.

1970- Разработка комплексов для химико-механической полировки пластин, первых тестеров для транзисторов, проходных камер для климатических испытаний полупроводниковых приборов.

1971- Организация первых работ по созданию отечественных видеомагнитофонов.

1975- Производство оборудования для тонко-пленочных технологий.

1976- Первая в СССР установка для плазмохимического травления нитрида кремния, поликремния и двуокиси кремния на алюминий "ПЛАЗМА-600Т".

1977- Начало экспорта оборудования для электронной промышленности.

1980- Разработка и поставки фильтрующих элементов для частиц 0,2 мкм.

1983- Работы по созданию технохимического оборудования серии "ЛАДА".

1993- Реорганизация в ОАО "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения".

2009- НИИ сертифицировано по международному стандарту ISO 9001:2008, военно-техническому стандарту СРПП ВТ.

2011- НИИПМ вступил в международную ассоциацию участников космической деятельности (МАКД).

2012- Институт вступил в перечень предприятий-поставщиков оборудования и спецтехники для атомной промышленности.

2018- Разработаны кластерные системы фотолитографии.

2023- Реорганизация в АО "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения".