Индивидуальная химическая обработка пластин

Установка предназначена для индивидуальной сушки пластин с применением эффекта «Марангони».

Установка предназначена для индивидуальной химической обработки кремниевых пластин диаметром 100, 150 мм методом полива/поверхностного спрея.

Установка предназначена для односторонней отмывки пластин с выполнением всех технологических операций на одном технологическом блоке с попеременной подачей необходимых реагентов в соответствии с технологическим процессом обработки.

Установка предназначена для индивидуальной химической обработки кремниевых пластин с выполнением всех технологических операций по двухсторонней химической обработке пластин методом погружения/объемного спрея в одном технологическом блоке с попеременной подачей необходимых реагентов в соответствии с технологическим процессом обработки.