Сушка фоторезиста
Оборудование для сушки фоторезиста на шаблонах
Сушка резиста на шаблонных подложках после операции нанесения фоторезиста и задубливания резиста после операции проявления.
Оборудование для сушки фоторезиста на шаблонах