НАЗНАЧЕНИЕ:
Установки/линии предназначены для химической обработки пластин в органических растворителях (этиловый спирт, изопропиловый спирт, бензин, ацетон, диметилформамид, моноэтаноламин, четыреххлористый углерод) с последующей промывкой в деионизованной воде (либо без нее в зависимости от техпроцесса).
СОСТАВ УСТАНОВКИ:
- технологические модули обработки
- блоки подготовки и подачи органических растворителей
- термостат для нагрева и стабилизации температуры органических растворителей
- блок подачи ламинарного потока очищенного воздуха
- блок рецикла деионизованной воды
- пневмо-гидросистема
- система управления
- Установки/линии обеспечивают групповую химическую обработку пластин, размещённых в кассетах, без повреждения поверхности пластин.
- Перемещение кассет между технологическими ваннами осуществляется вручную или автоматически в соответствии с заданным технологическим маршрутом.
- Установки/линии имеют модульную структуру, в каждом модуле находятся две или три технологические позиции (ванны). Объем ванны (6 л, 20 л, 25 л, 30 л) определяется размером обрабатываемых пластин и количеством размещаемых в ней кассет (1 или 2). Количество технологических позиций определяется техпроцессом.
- Ванны обработки в органических растворителях выполнены из нержавеющей стали и снабжены водоохлаждающимися крышками.
- «Стоп – ванна» и ванна финишной промывки выполнены из полипропилена.
ТИПОВЫЕ СОСТАВЫ МОДУЛЕЙ:
ТИП 1 (стандарт 1)
Ванна химической обработки
«Стоп-ванна»
Ванна финишной отмывки
ТИП 2 (стандарт 2)
Ванна химической обработки
«Стоп-ванна»
Ванна химической обработки
ТИП 3 (отмывка)
«Стоп-ванна»
Ванна финишной отмывки
Ванна отмывки держателей и кассет
ТИП 4 (ИПС)
Ванна химической обработки
Ванна химической обработки
Ванна отмывки держателей и кассет
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:
- процессы химической обработки и отмывки пластин автоматизированы, осуществляется контроль текущего состояния задаваемых технологических параметров;
- контроль отмывки пластин в ваннах финишной промывки с деионизованной водой осуществляется с помощью измерения сопротивления воды, которое производится с помощью кондуктометрического датчика, расположенного в кармане перелива;
- нагрев реагентов в ваннах с органическими растворителями и поддержание заданной температуры обеспечиваются термостатами;
- рабочие ванны оснащены датчиками уровня и температуры;
- конструкцией установки предусмотрена фильтрация органического растворителя;
- блок подготовки и подачи органических растворителей обеспечивает заполнение ванн, поддержание уровня и слив отработанных органических растворителей в емкости для транспортировки на утилизацию.
