Установки/линии химической обработки в органических растворителях серии УООР

Установки/линии химической обработки в органических растворителях серии УООР

НАЗНАЧЕНИЕ:
Установки/линии предназначены для химической обработки пластин в органических растворителях (этиловый спирт, изопропиловый спирт, бензин, ацетон, диметилформамид, моноэтаноламин, четыреххлористый углерод) с последующей промывкой в деионизованной воде (либо без нее в зависимости от техпроцесса).

СОСТАВ УСТАНОВКИ:

  • технологические модули обработки
  • блоки подготовки и подачи органических растворителей
  • термостат для нагрева и стабилизации температуры органических растворителей
  • блок подачи ламинарного потока очищенного воздуха
  • блок рецикла деионизованной воды
  • пневмо-гидросистема
  • система управления

     

  • Установки/линии обеспечивают групповую химическую обработку пластин, размещённых в  кассетах, без повреждения поверхности пластин.
  • Перемещение кассет между технологическими ваннами осуществляется вручную или автоматически в соответствии с заданным технологическим маршрутом.
  • Установки/линии имеют модульную структуру, в каждом модуле находятся две или три технологические позиции (ванны). Объем ванны (6 л, 20 л, 25 л, 30 л) определяется размером обрабатываемых пластин и количеством размещаемых в ней кассет (1 или 2). Количество технологических позиций определяется техпроцессом.
  • Ванны обработки в органических растворителях выполнены из нержавеющей стали и снабжены водоохлаждающимися крышками.
  • «Стоп – ванна» и ванна финишной промывки  выполнены из полипропилена.

ТИПОВЫЕ СОСТАВЫ МОДУЛЕЙ:

ТИП 1 (стандарт 1)
    Ванна химической обработки
    «Стоп-ванна»
    Ванна финишной отмывки
ТИП 2 (стандарт 2)
    Ванна химической обработки
    «Стоп-ванна»
    Ванна химической обработки
ТИП 3 (отмывка)
    «Стоп-ванна»
    Ванна финишной отмывки
    Ванна отмывки держателей и кассет
ТИП 4 (ИПС)
    Ванна химической обработки
    Ванна химической обработки
    Ванна отмывки держателей и кассет

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:

  • процессы химической обработки и отмывки пластин автоматизированы, осуществляется контроль текущего состояния задаваемых технологических параметров;
  • контроль отмывки пластин в ваннах финишной промывки с деионизованной водой осуществляется с помощью измерения сопротивления воды, которое производится с помощью кондуктометрического датчика, расположенного в кармане перелива;
  • нагрев реагентов в ваннах с органическими растворителями и поддержание заданной температуры обеспечиваются термостатами;
  • рабочие ванны оснащены датчиками уровня и температуры;
  • конструкцией установки предусмотрена фильтрация органического растворителя;
  • блок подготовки и подачи органических растворителей  обеспечивает заполнение ванн, поддержание уровня и слив отработанных органических растворителей в емкости для транспортировки на утилизацию.