Установка химической обработки пластин сапфира (Установка серии ЛАДА-М)

НАЗНАЧЕНИЕ:
Установка предназначена для химической обработки пластин сапфира диаметром 100 мм и 150 мм в растворах азотной, соляной, серной, ортофосфорной кислот, перекиси водорода и их смесей с последующей промывкой в деионизованной воде.

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

• Установка состоит из 3-х технологических модулей, в каждом из которых по 2 технологические позиции – ванны объемом 20 л
• В состав установки входят:

- 2 блока для  подачи очищенного воздуха в зону химобработки,
- 3 блока подачи химических реактивов,
- 3 блока нагрева деионизованной воды,
- 3 прибора для изменения и регулировки температуры химического раствора;
- устройство для измерения  проводимости деионизованной воды и водородного показателя pH;
- сенсорная панель управления;

• Наличие азотного барботажа в ваннах травления для улучшения равномерности обработки;
• Наличие азотного «ножа» под ваннами травления, исключающего попадание паров травления в зону обслуживания;
• Установку следует эксплуатировать в помещении класса Р5(100) и Р4(10) по ГОСТ ИСО 14644-1-2002 (10) по ГОСТ Р50766-95.

ОСОБЕННОСТИ:

• групповая кассетная обработка пластин;
• установка предназначена для работы с пластинами диаметром 100 и 150 мм, помещенными в кассеты;
• контроль текущего состояния задаваемых технологических параметров;
• мобильный блок подачи химических реактивов обеспечивает полуавтоматическое заполнение ванн;
• контроль отмывки пластин в ваннах финишной промывки с деионизованной водой осуществляется с помощью измерения сопротивления воды, которое производится с помощью кондуктометрического датчика;
• станины модулей установки выполнены из белого полипропилена;
• ванны для химобработки и проточные части, контактирующие с реагентами и деионизованной водой, изготавливаются из фторопласта;
• все ванны снабжены специальными крышками;
• для удаления отработанного химического раствора из ванн химобработки используется специальный насос, в результате обеспечивается нейтрализация химраствора перед сбросом в кислотно-щелочную канализацию или в спецёмкости для сбора отработанного химреактива;
• для поддержания температурного режима рабочих ванн используются погружные компактные фторопластовые низковольтные нагревательные элементы, спроектированные для работы с химически-агрессивными реактивами (имеют фторопластовую оболочку);
• все рабочие ванны с нагревателями оснащены датчиками уровня и температуры, для контроля уровня в ваннах химобработки применяются датчики (стойкие к воздействию агрессивных сред).
• технологические возможности установки:

-    химическая обработка  пластин;
-    промывка в «стоп – ванне»;
-    финишная промывка в деионизованной воде.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ: