НАЗНАЧЕНИЕ:
Автоматическая линия травления деталей из кварцевого стекла "ЛАДА-MQ" предназначена для травления деталей из кварцевого стекла в смеси плавиковой и серной кислот с последующей промывкой в деионизованной воде и инфракрасной сушке в потоке азота.
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ВОЗМОЖНОСТИ:
- химическая обработка кварцевых деталей в растворах кислот;
- промывка кварцевых деталей в «стоп – ванне»;
- финишная промывка кварцевых деталей в деионизованной воде;
- сушка кварцевых деталей;
- в состав линии входят модуль загрузки, модуль выгрузки, 3 модуля химической обработки, модуль сушки, связанные единой транспортной системой, а также 2 модуля подачи и рециркуляции химического реактива, модуль подготовки деионизованной воды и воздуха, силовой шкаф;
- данная конфигурация линии может быть применена для обработки пластин диаметром до 150 мм.
ОСОБЕННОСТИ:
- Процессы химической обработки и отмывки кассеты с кварцевыми деталями автоматизированы;
- Контроль текущего состояния задаваемых технологических параметров;
- Конструкцией автоматической линии предусмотрена фильтрация растворов при заполнении ванн; Конструкцией ванны химической обработки предусмотрен режим скоростного слива раствора кислот в промежуточную ёмкость, душирование кассеты с кварцевыми деталями посредством распылителей деионизованной водой в пространстве 8D:
- двойное диагональное, от верхнего края ванны вдоль широкой стенки к нижнему углу ванны;
- двойное вертикальное, от крышки ко дну ванны и от дна ванны к крышке ванны;
- двойное горизонтальное, от широких боковых стенок ванны к её центру и двойное горизонтальное от узких боковых стенок ванны к её центру.
- Блок подачи химических реактивов обеспечивает автоматическое заполнение ванн и поддержание уровня, приемо-возвратную перекачку химического реактива в ходе технологического процесса, слив отработанных химических реактивов в емкости для транспортировки на утилизацию;
- Групповая обработка кварцевых деталей в специальных фторопластовых кассетах;
- Операционное и межоперационное движение кассеты с кварцевыми деталями в линии производится линейным роботом в автоматическом режиме;
- Контроль отмывки кассеты с кварцевыми деталями в ваннах промывки деионизованной водой осуществляется с помощью измерения сопротивления воды;
- Корпуса модулей агрегата технологической обработки и блоков подачи химреактивов выполнены из полипропилена;
- Ванны для химобработки, проточные части и специальные кассеты, контактирующие с реагентами и деионизованной водой, изготавливаются из фторопластов (Ф-4/Ф-2М/PTFE/PVDF/PFA);
- Все рабочие ванны с нагревателями оснащены датчиками уровня и температуры.
