НАЗНАЧЕНИЕ:
Установка химической обработка в органическом растворителе "УООР-150М" предназначена для химической обработки пластин и подложек размером 48х60 мм в органическом растворителе (спирт изопропиловый ГОСТ 9805-84) с последующей промывкой в деионизованной воде.
ОСОБЕННОСТИ:
- Промывка деионизованной водой в стоп-ванне (душ, объемная промывка, быстрый слив);
- Промывка деионизованной водой в ванне промывки (в проточной воде);
- Контроль качества промывки в ванне финишной промывки;
- Установка подключается к системе приточно-вытяжной вентиляции;
- Нагрев, фильтрация и рециркуляция органического растворителя происходит в специальном блоке;
- Фильтрация органического растворителя осуществляется посредством рециркуляции потока через титановый или нержавеющий картриджи (спеченные);
- Нагрев органического растворителя осуществляется посредством рециркуляции потока через теплообменник размещенный в объеме кремнийорганической жидкости нагретой спиральным фторопластовыми погружными нагревателями;
- Материал ванн, теплообменника, корпуса основного модуля, блока фильтрации, нагрева и рециркуляции – нержавеющая сталь;
- Ванна химической обработки имеет специальный кожух для рециркуляции дополнительного потока нагретой кремнийорганической жидкости;
- Ванна химической обработки располагает водоохлаждаемыми нержавеющими полукрышками (для конденсации паров органического растворителя и стекания обратно в ванну) и азотным «ножом».
