НАЗНАЧЕНИЕ:
Линии/установки химической обработки пластин/подложек предназначены для химической обработки пластин/подложек в растворах плавиковой, серной, соляной, азотной, фосфорной, уксусной кислот, перекиси водорода, аммиака и их смесей, с последующей промывкой в деионизованной воде и сушкой (или без сушки).
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОБОБЕННОСТИ:
- Линии/установки обеспечивают групповую химическую обработку пластин, размещённых в кассетах, без повреждения поверхности пластин;
- Линии/установки имеют модульную структуру, в каждом модуле находятся две или три технологические позиции (ванны). Объем ванны (6 л, 20 л, 25 л, 30 л) определяется размером обрабатываемых пластин и количеством размещаемых в ней кассет (1 или 2). Количество технологических позиций определяется техпроцессом;
- Процессы химической обработки и отмывки пластин автоматизированы;
- Предусмотрен контроль текущего состояния задаваемых технологических параметров;
- Технологические позиции (ванны) оборудованы механически закрывающимися крышками;
- Загрузка–выгрузка кассет с пластинами, перемещение кассет между технологическими ваннами осуществляется вручную;
- Блок подготовки и подачи химических реактивов обеспечивает автоматическое заполнение ванн, поддержание уровня и слив отработанных химических реактивов в емкости для транспортировки на утилизацию, при необходимости может быть организован рецикл рабочих сред;
- Конструкцией установки предусмотрена фильтрация растворов при заполнении ванн;
- Контроль отмывки пластин в ваннах каскадной промывки с деионизованной водой осуществляется с помощью измерения сопротивления воды, которое производится с помощью кондуктометрического датчика, расположенного в кармане перелива;
- Ванны химической обработки оснащены «азотным ножом» для направления химических паров при открытой крышке, от оператора в вытяжную вентиляцию;
- Ванны для химобработки изготавливаются из фторопласта (или футеруются фторопластом или покрытием Tefzel), проточные части, контактирующие с реагентами и деионизованной водой, изготавливаются из фторопласта, станины модулей и ванны промывки выполнены из полипропилена;
- Для поддержания температурного режима рабочих ванн используются нагревательные элементы, спроектированные для работы с химически-агрессивными реактивами – они имеют фторопластовую оболочку;
- Все рабочие ванны с нагревателями оснащены датчиками уровня и температуры;
- Каждый технологический модуль оснащается фильтр-вентиляционным модулем для подачи ламинарного потока воздуха, подключается к системе вытяжной вентиляции.
ТИПОВЫЕ ВАННЫ:
- Ванна химической обработки;
- «Стоп-ванна»;
- Ванна финишной отмывки;
- Ванна отмывки держателей и кассет.
ТИПОВЫЕ СОСТАВЫ МОДУЛЕЙ (ВАННЫ 6 л):
- Ванна химической обработки;
- «Стоп-ванна»;
- Ванна финишной отмывки.
- Ванна химической обработки;
- «Стоп-ванна»;
- Ванна химической обработки.
- «Стоп-ванна»;
- Ванна финишной отмывки;
- Ванна отмывки держателей и кассет.
ТИПОВЫЕ СОСТАВЫ МОДУЛЕЙ (ВАННЫ 20 - 30 л):
- Ванна химической обработки
- «Стоп-ванна»
- «Стоп-ванна»;
- Ванна финишной отмывки.
- Ванна финишной отмывки;
- Ванна отмывки держателей и кассет.
* Состав линии и модулей соответственно формируется согласно технологическим требованиям Заказчика
