Оборудование разработано в рамках комплексного проекта «Разработка и организация производства оборудования индивидуальной жидкостной химической обработки пластин диаметром до 200 мм в компоновке однопозиционных установок и роботизированного кластера» на основании Соглашения о предоставлении из федерального бюджета субсидии на финансовое обеспечение части затрат на создание научно-технического задела по разработке базовых технологий производства приоритетных электронных компонентов и радиоэлектронной аппаратуры № 020-11-2019-975 от 14 декабря 2019 г.
НАЗНАЧЕНИЕ:
Гидромеханическая и мегазвуковая промывка подложек зеркал перед напылением TiO2 и SiO2 с использованием растворов и деионизованной воды. Подложки представляют собой полированные диски из ситалла. Загрузка и выгрузка подложек - ручная.
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:
- Гидромеханическая обработка подложек зеркал перед напылением с использованием раствора и деионизованной воды;
- Мегазвуковая обработка подложек с использованием деионизованной воды;
- Промывка реионизованной водой (подача воды в зону обработки для снятия статического электричества с поверхности подложки);
- Сушка подложек методом центрифунирования;
- Система управления установкой осуществляется на базе современного микроконтроллера с выводом информации на дисплей;
- Возможность выполнения операций очистки в любой последовательности;
- Регулирование технологического процесса в реальном времени;
- Возможность программного регулирования высоты и давления щетки на обрабатываемую поверхность.
ТРЕБОВАНИЯ К ПОДКЛЮЧАЕМЫМ КОММУНИКАЦИЯМ:
- Электрическая сеть переменного тока с напряжением 220 В и частотой 50Гц, сеть заземления;
- Сеть сжатого, осушенного и очищенного воздуха по ГОСТ 174433-80, давлением 0,4 ÷ 0,6 МПа;
- Вытяжная вентиляция, с производительностью не менее 150 м3/час;
- Сеть химической канализации Д.У. не менее 30 мм;
- Сеть деионизованной воды марки А с давлением 0,2 ÷ 0,25 мПа и расходом 120л/час.
