НАЗНАЧЕНИЕ:
Установка предназначена для индивидуальной односторонней гидромеханической и мегазвуковой очистки подложек.
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:
- В комплект установки опционально может входить зона обеспыливания с ламинарным потоком;
- Направление скорости воздушного потока в рабочей зоне установки обеспыливания - вертикальное (сверху вниз) при скорости не менее 0,3 м/с; избыточное давление от 20 до 100 Па (от 2 до 10 мм вод. ст.);
- Установка обеспечивает работу при подаче:
- воды деионизованной марки "А" по ОСТ 11029.003-80 давлением 0,2÷0,25 МПа;
- воздуха сжатого, очищенного и осушенного по ГОСТ 17433-80 давлением 0,4÷0,6 МПа;
- При эксплуатации установка должна быть подключена:
-к сети вакуума давлением не более 350 мм рт.ст., расходом не менее 10 м3/ч,
-к сети хим. стойкой канализации с Ду не менее 30 мм,
-к системе вытяжной вентиляции с расходом воздуха не менее 150 м3/ч,
-к контуру заземления;
- Многоуровневая система управления установкой позволяет проводить непрерывный мониторинг технологических параметров и осуществлять диагностику состояния механизмов и систем;
- Установка соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р5(100) («чистое помещение» класса ИСО5 по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000).
ХАРАКТЕРИСТИКИ |
Ед. изм. |
«УГМО-48х60» |
Размер обрабатываемых подложек |
мм |
48х60х0,25
48х60х0,5
48х60х1,0
|
Частота генератора мегазвука |
МГц |
1,65 |
Мощность генератора |
Вт |
50 |
Диапазон задания времени выполнения операций |
с |
0 ÷ 999 |
Диапазон задания частоты вращения щетки |
об./мин |
150 ÷ 300 |
Шаг задания частоты вращения щётки, не более |
об./мин |
10 |
Диапазон задания частоты вращения ротора центрифуги |
об./мин |
300 ÷ 6000 |
Мощность потребляемая установкой, не более |
кВт |
0,6 |
Габаритные размеры (ДхШхВ): |
|
|
- агрегат обработки |
мм |
1230х855х2125 |
- блок подготовки |
мм |
710х400х720 |