УСТАНОВКИ ДВУХСТОРОННЕЙ ИНДИВИДУАЛЬНОЙ ОТМЫВКИ ПЛАСТИН «АГМО» и «УГМО»

Оборудование разработано в рамках комплексного проекта «Разработка и организация производства кластерных линий фотолитографии с концепцией объединения всех операций формирования фоторезистивной маски в едином модуле» на основании Договора о предоставлении субсидии на возмещение части затрат на создание научно-технического задела по разработке базовых технологий производства приоритетных электронных компонентов и радиоэлектронной аппаратуры № 16411.1950168580.11.001 от 17 октября 2016 г."

НАЗНАЧЕНИЕ:

Двухсторонняя индивидуальная гидромеханическая и мегазвуковая очистка пластин в автоматическом режиме. Возможно изготовление оборудования в упрощенном варианте с использованием ручной поштучной загрузки (выгрузки) пластин  -  УГМО-2 и УГМО-2А.

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ: 

• Двухсторонняя индивидуальная гидромеханическая очистка пластин с применением раствора и деионизованной воды;
• Мегазвуковая очистка пластин;
• Двухсторонняя промывка деионизованной водой;
• Удаление капельной влаги центрифугированием;
• Вертикальное расположение пластин в процессе транспортировки и обработки;
• Возможность программного регулирования давления щеток на пластину;
• Возможность применения кассет с различным шагом;
• Наличие двух транспортеров повышает качество обработки, так как исключается загрязнение пластин носителями после чистовой обработки на центрифуге;
• Двухуровневая система управления установкой позволяет проводить непрерывный мониторинг технологических параметров и осуществлять диагностику состояния механизмов и систем;
• Установку следует эксплуатировать в помещениях класса Р5(100), Р4(10) по ГОСТ Р50766-95.