НАЗНАЧЕНИЕ:
Промывка и сушка полупроводниковых пластин в автоматическом режиме методом центрифугирования.
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:
- Обработка осуществляется по одной кассете;
- Промывка пластин с применением деионизованной воды;
- Удаление капельной влаги центрифугированием;
- Ускоренный процесс сушки пластин (подача азота в камеру с нагревом до 50 0С);
- Установка предназначена для эксплуатации в помещениях класса Р(5)100 («чистое помещение» класса ИСО 5 по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000).
| ХАРАКТЕРИСТИКИ |
Ед. изм. |
«УСП-150» |
| Диаметр обрабатываемых пластин |
мм |
100, 150
|
| Толщина обрабатываемых пластин |
мм |
0,5; 0,6; 0,8 |
| Количество пластин в кассете |
шт. |
25 |
| Время сушки |
с |
(60 ÷ 900) ±3% |
| Диапазон регулирования скорости вращения ротора центрифуги |
об./мин |
200 ÷ 2500 |
| Диапазон регулирования температур сушки в камере |
0С |
45 ÷ 65 |
| Мощность потребляемая установкой, не более |
кВт |
1,5 |
| Габаритные размеры установки (ДхШхВ) |
мм |
440х740х1417 |
