НАЗНАЧЕНИЕ:
Установка магнетронного напыления позволяет получать функциональные тонкопленочные покрытия практически из любых металлов, сплавов и полупроводниковых материалов. В зависимости от рабочей среды (наличия кислорода, азота, аргона) можно получать пленки различных составов.
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:
- 3 магнетронных источника;
- 2 магистрали для газов высокой чистоты;
- Источники магнетронного распыления позволяют более экономно использовать мишени;
- Обработка до 5 образцов за цикл;
- Равномерность напыления;
- Источники питания магнетрона мощностью до 3 кВт;
- Запатентованная магнитная система;
- Широкий диапазон регулировок газовой смеси во время процесса;
- Компактное размещение навесной вертикальной оснастки;
- Высокая точность контроля осаждения на основе централизованной системы.
