Установка нанесения фоторезистивных пленок

Установка нанесения фоторезиста НФТО-150П (new)

Установка нанесения фоторезиста НФТО-150П (new)
zoom Увеличить изображение

НАЗНАЧЕНИЕ:

Нанесение фоторезистивных плёнок на гладкую и рельефную  поверхность  пластин, с последующей термообработкой.

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ВОЗМОЖНОСТИ:

  • подача фоторезиста на пластину в статическом и динамическом режимах (сканирование);
  • подача фоторезиста насосом-дозатором;
  • формирование плёнки фоторезиста;
  • отмывка краевого валика;
  • отмывка обратной стороны;
  • проведение термообработки слоя фоторезиста на горячей плите.
  • режим термообработки слоя фоторезиста – «контакт или зазор».