НАЗНАЧЕНИЕ:
Проявление фоторезистивных плёнок на гладкой и рельефной поверхности пластин и подложек.
Состав установки:
- модуль проявления фоторезиста;
- блок электрический;
- система управления установкой;
- система подачи проявителя;
- ёмкость для проявителя;
- станина.
Технологические возможности установки:
- подача проявителя на пластину в статическом и динамическом режимах (сканирование);
- промывка деионизованной водой;
- сушка центрифугированием.
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:
- Проявление фоторезистивных пленок методом полива проявителя на вращающуюся поверхность пластины.
- Установка соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р(10)100 («чистое помещение» класса 5 ИСО по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2002).
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:
| ХАРАКТЕРИСТИКИ |
Ед. изм. |
«НФ-150П» |
| Диаметр обрабатываемых пластин |
мм |
51, 76, 100, 150 |
| Размер обрабатываемых подложек |
мм |
25х25, 48х60, 76х76, 102х102 |
| Диапазон задания скорости вращения ротора центрифуги |
об./мин |
300 ÷ 7000 |
| Дискретность скорости вращения ротора центрифуги |
об./мин |
10 |
| Диапазон задания ускорения вращения ротора центрифуги |
(об/мин.)/с |
10 ÷ 10000 |
| Дискретность ускорения ротора центрифуги |
(об/мин.)/с |
100 |
| Диапазон дозирования проявителя |
мл |
0,5 ÷ 5,0 |
| Электропитание: |
|
|
| - сеть переменного тока |
В |
380/220 |
| - частота |
Гц |
50 |
| Мощность потребляемая установкой |
кВт |
2,5 |
| Габаритные размеры установки (ДxШxВ) |
мм |
905 х 459 х 1090 |
