Робот SCARA

НАЗНАЧЕНИЕ:

Робот предназначен для использования в автоматическом фотолитографическом оборудовании, оборудовании гидромеханической и мегазвуковой очистки при обработке полупроводниковых пластин, прямоугольных подложек и фотошаблонных заготовок.

ROBOT SCARA

Особенности:

Робот соответствует требованиям эксплуатации в помещениях «чистое помещение» класса 2 ИСО по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2002.
Питание осуществляется от сети переменного тока напряжением 220 В, частотой 50 Гц. Нормы качества электрической энергии по ГОСТ 32144-2013.
При эксплуатации робот должен быть подключен:

- к сети вакуума давлением не более 350 мм рт.ст. расходом не менее 10 м³/ч;

- к контуру заземления.

ROBOT SCARA RM-130

Расшифровка моделей роботов SCARA

ХАРАКТЕРИСТИКИ	Ед.изм.	РМ130-330-1	РМ130-200-2
Диаметр переносимых пластин	мм	100, 150, 200
Метод удерживания пластин	тип	вакуумный прижим
Количество манипуляторов переноса пластин	шт.	1	2
Вертикальное перемещение пластин	мм	330	200
Угол поворота в рабочей зоне	°	340
Количество осей	шт.	3	4
Максимальное расстояние от центра вращения робота до центра пластины	мм	536	500
Скорость переноса (максимальная) при вертикальном перемещении	мм/сек	44
Скорость переноса (максимальная) при горизонтальном перемещении	мм/сек	365
Скорость поворота манипуляторов	гр./сек	160
Габаритные размеры робота без блока управления, ДхШхВ	мм	340х340х623	380х415х589
Масса робота без блока управления, не более	кг	50
Габариты блока управления, ДхШхВ	мм	509x420x260
Масса блока управления, не более	кг	5
Потребляемая мощность, не более	кВт	0,5

Каталог роботы SCARA в формате .pdf