Автоматические кластерные комплексы химической обработки пластин

НАЗНАЧЕНИЕ:

Кластерные линии предназначены для индивидуальной жидкостной химической обработки пластин диаметром 150-200мм в составе:

  А) Модульный комплекс индивидуальной жидкостной обработки пластин;
  Б) Модуль подготовки и подачи технологических сред.

 А) СОСТАВ МОДУЛЬНОГО КОМПЛЕКСА ИНДИВИДУАЛЬНОЙ ЖИДКОСТНОЙ ОБРАБОТКИ ПЛАСТИН:

   1) Модуль индивидуальной химической обработки пластин методом погружения/объёмного спрея;
   2) Модуль индивидуальной химической обработки пластин методом полива/поверхностного спрея;
   3) Модуль индивидуальной отмывки пластин;
   4) Модуль индивидуальной сушки пластин;
   5) Модуль транспортный;
   6) Модуль силовой.

Б) СОСТАВ МОДУЛЯ ПОДГОТОВКИ И ПОДАЧИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ СРЕД:

   1) Модуль подготовки и подачи технологических сред (для модуля индивидуальной химической обработки пластин методом погружения/объёмного спрея и модуля индивидуальной химической обработки пластин методом полива/поверхностного спрея);
   2) Модуль подготовки и подачи растворов (для модуля индивидуальной отмывки пластин);
   3) Модуль подготовки и подачи технологических сред (для модуля индивидуальной сушки пластин);
   4) Модуль сбора отработанных растворов (для модуля индивидуальной химической обработки пластин методом погружения/объёмного спрея и модуля индивидуальной химической обработки пластин методом полива/поверхностного спрея);
   5) Модуль силовой.

  МОДУЛЬНЫЙ КОМПЛЕКС ИНДИВИДУАЛЬНОЙ ЖИДКОСТНОЙ ОБРАБОТКИ ПЛАСТИН:

НАЗНАЧЕНИЕ:

Кластер предназначен для осуществления индивидуальной жидкостной химической обработки пластин диаметром 150 и 200 мм в компоновке роботизированного кластера для выполнения операций химической очистки и отмывки пластин, активации поверхности, изотропного и анизотропного травления, химического удаления фоторезистивных масок, отмывки, сушки пластин, а также разработки базовых технологий процессов обработки.

ОСОБЕННОСТИ:

• Модульная конструкция;
• Кассетная загрузка пластин на кластерную линию;
• Выгрузка пластин из загрузочной кассеты;
• Ориентация пластин по базовому срезу и центрирование;
• Химическая двухсторонняя обработка пластин методом погружения/объемным спреем;
• Химическая односторонняя обработка методом полива /поверхностного спрея;
• Мегазвуковая очистка пластин с применением деионизованной воды и раствора;
• Гидромеханическая отмывка пластин щёткой с использованием деионизованной воды и раствора;
• Удаление капельной влаги с поверхности пластин ротационным способом;
• Сушка пластин с применением эффекта Марангони;
• Загрузка пластин в приемную кассету.

ВЫПОЛНЯЕМЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОПЕРАЦИИ:

  МОДУЛЬ ПОДГОТОВКИ И ПОДАЧИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ СРЕД:

НАЗНАЧЕНИЕ:

Модуль подготовки и подачи технологических сред Исп.1 предназначен для дозирования, фильтрации, смешивания и подачи жидких технологических сред для установки индивидуальной химической обработки пластин методом погружения/объемного спрея для двусторонней и односторонней жидкостной химической обработки пластин диаметром 100-150мм. Модуль подготовки и подачи технологических сред может использовать как в составе Кластера, так и самостоятельная установка подготовки и подачи сред. 

СОСТАВ МОДУЛЯ ПОДГОТОВКИ И ПОДАЧИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ СРЕД:

 МОДУЛЬ ПОДГОТОВКИ И ПОДАЧИ РАСТВОРОВ:
(для модуля индивидуальной отмывки пластин)

НАЗНАЧЕНИЕ:

Модуль подготовки и подачи растворов ЩЦМ 3.248.023 предназначен для дозирования, фильтрации, смешивания и подачи растворов поверхностно-активных веществ (ПАВ), сжатого воздуха и деионизованной воды для модуля индивидуальной отмывки пластин ЩЦМ 3.190.118. 

 МОДУЛЬ ПОДГОТОВКИ И ПОДАЧИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ СРЕД:
(для модуля индивидуальной сушки пластин с применением эффекта Марангони)

НАЗНАЧЕНИЕ:

Модуль подготовки и подачи технологических сред ЩЦМ 3.248.024 предназначен для дозирования, фильтрации, смешивания и подачи газообразных технологических сред для установки индивидуальной сушки пластин с применением эффекта Марангони.  

 МОДУЛЬ СБОРА ОТРАБОТАННЫХ РАСТВОРОВ:
(для модуля индивидуальной химической обработки пластин методом погружения/объемного спрея и модуля индивидуальной химической обработки пластин методом полива/поверхностного спрея)

НАЗНАЧЕНИЕ:

Модуль сбора отработанных растворов ЩЦМ 3.249.045 предназначен для откачки из буферных емкостей модуля индивидуальной химической обработки пластин методом погружения/объемного спрея.

ВАРИАНТЫ КОМПОНОВКИ КЛАСТЕРНЫХ КОМПЛЕКСОВ:
(X - наличие и количество модулей в составе каждого исполнения кластера)