Оборудование разработано в рамках комплексного проекта «Разработка и организация производства оборудования индивидуальной жидкостной химической обработки пластин диаметром до 200 мм в компоновке однопозиционных установок и роботизированного кластера» на основании Соглашения о предоставлении из федерального бюджета субсидии на финансовое обеспечение части затрат на создание научно-технического задела по разработке базовых технологий производства приоритетных электронных компонентов и радиоэлектронной аппаратуры № 020-11-2019-975 от 14 декабря 2019 г.
НАЗНАЧЕНИЕ:
Установка предназначена для индивидуальной химической обработки кремниевых пластин с выполнением всех технологических операций по двухсторонней химической обработке пластин методом погружения/объемного спрея в одном технологическом блоке с попеременной подачей необходимых реагентов в соответствии с технологическим процессом обработки.
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ:
- Загрузка обрабатываемых пластин производится в ручном режиме на позицию обработки;
- Промывка пластин с использованием деионизованной воды;
- Сушка пластин центрифугированием;
- Возможность программной регулировки скорости поворота и угла наклона центрифуги;
- Гибкое задание параметров и последовательность операций;
- Возможность работы в ручном режиме позволяет осуществлять автономное включение и выключение каждого механизма установки, задавать режимы обработки, осуществлять подачу раствора, деионизованной воды и азота на обдув, устанавливать температуру на плитке, контролировать ее;
- Установка соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р5(100) («чистое помещение» класса ИСО5 по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017).
