НАЗНАЧЕНИЕ:
Установка предназначена для индивидуальной химической обработки кремниевых пластин с выполнением всех технологических операций по двухсторонней химической обработке пластин методом погружения/объемного спрея в одном технологическом блоке с попеременной подачей необходимых реагентов в соответствии с технологическим процессом обработки.
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ:
- Загрузка обрабатываемых пластин производится в ручном режиме на позицию обработки;
- Промывка пластин с использованием деионизованной воды;
- Сушка пластин центрифугированием;
- Возможность программной регулировки скорости поворота и угла наклона центрифуги;
- Гибкое задание параметров и последовательность операций;
- Возможность работы в ручном режиме позволяет осуществлять автономное включение и выключение каждого механизма установки, задавать режимы обработки, осуществлять подачу раствора, деионизованной воды и азота на обдув, устанавливать температуру на плитке, контролировать ее;
- Установка соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р5(100) («чистое помещение» класса ИСО5 по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017).
