НАЗНАЧЕНИЕ:
Установка предназначена для индивидуальной химической обработки кремниевых пластин диаметром 100, 150 мм методом полива/поверхностного спрея.
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ:
- Индивидуальную химическую обработку пластин с выполнением всех технологических операций односторонней химической обработки пластин методом полива/поверхностного спрея проводят в одном технологическом блоке с переменной подачей необходимых реагентов всоответствии с технологическим процессом обработки.
- Загрузка обрабатываемых пластин производится в ручном режиме на позицию обработки. Процесс полива проходит в автоматическом режиме. Выгрузка пластин осуществляется в ручном режиме и укладывается в транспортную кассету;
- Промывка пластин с использованием деионизованной воды;
- Сушка пластин центрифугированием;
- Гибкое задание параметров и последовательность операций;
- Установка соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р5(100) («чистое помещение» класса ИСО5 по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017).
