Оборудование разработано в рамках комплексного проекта «Разработка и организация производства оборудования индивидуальной жидкостной химической обработки пластин диаметром до 200 мм в компоновке однопозиционных установок и роботизированного кластера» на основании Соглашения о предоставлении из федерального бюджета субсидии на финансовое обеспечение части затрат на создание научно-технического задела по разработке базовых технологий производства приоритетных электронных компонентов и радиоэлектронной аппаратуры № 020-11-2019-975 от 14 декабря 2019 г.
НАЗНАЧЕНИЕ:
Установка предназначена для индивидуальной химической обработки кремниевых пластин диаметром 100, 150 мм методом полива/поверхностного спрея.
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ:
- Индивидуальную химическую обработку пластин с выполнением всех технологических операций односторонней химической обработки пластин методом полива/поверхностного спрея проводят в одном технологическом блоке с переменной подачей необходимых реагентов всоответствии с технологическим процессом обработки.
- Загрузка обрабатываемых пластин производится в ручном режиме на позицию обработки. Процесс полива проходит в автоматическом режиме. Выгрузка пластин осуществляется в ручном режиме и укладывается в транспортную кассету;
- Промывка пластин с использованием деионизованной воды;
- Сушка пластин центрифугированием;
- Гибкое задание параметров и последовательность операций;
- Установка соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р5(100) («чистое помещение» класса ИСО5 по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017).
