Оборудование разработано в рамках комплексного проекта «Разработка и организация производства оборудования индивидуальной жидкостной химической обработки пластин диаметром до 200 мм в компоновке однопозиционных установок и роботизированного кластера» на основании Соглашения о предоставлении из федерального бюджета субсидии на финансовое обеспечение части затрат на создание научно-технического задела по разработке базовых технологий производства приоритетных электронных компонентов и радиоэлектронной аппаратуры № 020-11-2019-975 от 14 декабря 2019 г.
НАЗНАЧЕНИЕ:
Установка предназначена для односторонней отмывки пластин с выполнением всех технологических операций на одном технологическом блоке с попеременной подачей необходимых реагентов в соответствии с технологическим процессом обработки.
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ:
- В комплект установки входит зона обеспыливания с ламинарным потоком;
- Загрузка обрабатываемых пластин производится в ручном режиме на позицию обработки.
- Процесс отмывки проходит в автоматическом режиме.
- Выгрузка пластины осуществляется в ручном режиме.
- Гидромеханическая очистка поверхности пластины щёткой с применением раствора;
- Гидромеханическая очистка поверхности пластины щёткой с применением деионизованной воды;
- Мегазвуковая очистка поверхности пластины деионизованной водой;
- Возможностьподачи моющего раствора на поверхность пластины до или в процессе осуществления мегазвуковой отмывки;
- Промывка (финишная) поверхности пластины деионизованной водой;
- Удаление капельной влаги с поверхности пластины ротационным способом.
- Установка обеспечивает работу при подаче:
- воздуха сжатого, очищенного и осушенного по ГОСТ 17433-80 давлением от 0,4 до 0,6 МПа;
- воды деионизованной марки "А" по ОСТ 11029.003-80 давлением от 0,18 до 0,20 МПа, расходом 120 л/ч.
- Установка соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р5(100) («чистое помещение» класса ИСО5 по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017).
