НАЗНАЧЕНИЕ:
Автоматическое проведение процесса двухсторонней отмывки фотошаблонов путем последовательной обработки поверхностей. Кассетная загрузка и выгрузка фотошаблонов. Установка может быть оборудована зоной обеспыливания.
Состав установки:
- блоки перемещения кассет;
- блоки выдачи и загрузки фотошаблонов;
- блок гидромеханической обработки;
- блок центрифуги;
- блок сушки;
- блок силовой;
- блок микропроцессорного управления;
- блок подготовки и подачи реагентов;
- станина
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:
- Двухсторонняя очистка фотошаблонов в блоке гидромеханической очистки раствором и деионизованной водой.
- Двухсторонняя мегазвуковая очистка поверхности фотошаблона на центрифуге, промывка и сушка центрифугированием.
- Сушка фотошаблонов при повышенной температуре.
- Охлаждение фотошаблона перед загрузкой в кассету.
- Дополнительный механизм подъема фотошаблона на позиции сушки, что позволяет сделать время сушки независимым от времени обработки на предыдущих позициях.
- Наличие двух транспортеров, позволяющих осуществлять более гибкую систему обработки и устранить зависимость выполнения операций друг от друга.
- Управление установкой происходит от микропроцессора.
- Многоуровневая система управления установкой позволяет проводить непрерывный мониторинг технологических параметров и осуществлять диагностику состояния механизмов и систем.
- Установка соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р(10)100 («чистое помещение» класса 5 ИСО по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000).
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:
ХАРАКТЕРИСТИКИ |
Ед.изм. |
УОФ-153A-1 |
Размер обрабатываемых фотошаблонов |
мм |
102 х 102 х 2,3 |
127 х 127 х 2,3 |
153 х 153 х 3,3 |
Количество шаблонов в кассете |
шт. |
20 |
Диапазон времени выполнения каждой операции |
c |
1 ÷ 999 |
Диапазон времени подачи раствора на блоке гидромеханической обработки |
c |
1 ÷ 99 |
Тип мегазвукового излучателя |
тип |
пьезокерамика |
Частота мегазвуковой обработки |
мГц |
1,65 |
Диапазон регулирования угловой скорости вращения ротора центрифуги |
об./мин |
300 ÷ 3000 |
Диапазон регулирования температуры плиты на блоке сушки |
ºС |
80 ÷ 120 |
Мощность потребляемая установкой, не более |
кВт |
3,2 |
Габаритные размеры (Д x Ш x В) |
мм |
1642 x 940 x 1190 |