Автоматическая линия проявления фоторезиста на поверхности пластин ЛПФА-150

НАЗНАЧЕНИЕ:

Автоматическая трековая установка проявления фоторезиста, предназначенная для  фотолитографического обеспечения производства СБИС и дискретных п/п приборов на полупроводниковых пластинах диаметром 100 / 150 мм.

• Установка состоит из набора технологических устройств, осуществляющих различные виды фотолитографической обработки и размещённых в едином каркасе.
• Технологическое устройство  представляет собой унифицированный блок, состоящий из 2-х модулей, каждый из которых выполняет определённую технологическую операцию, объединённых  однокоординатной транспортной системой.
• Транспортная система обеспечивает перенос обрабатываемых изделий внутри технологического устройства и осуществляет перегрузку пластин на соседние технологические устройства.
• Загрузка на треки и приём в кассету обрабатываемых изделий  осуществляется с помощью загрузочных модулей  использующих стандартные кассеты фирмы  Integris.
• Транспортная система переносит пластины по треку последовательно, с позиции на позицию, только в одном направлении.
• Приёмное устройство так же включает в себя  позицию охлаждения  обрабатываемых изделий перед загрузкой в кассету.
• Многоуровневая система управления проводит непрерывный мониторинг технологических параметров и осуществляет диагностику состояний механизмов и систем.

Типы технологических устройств, из которых может формироваться трек:

• Устройство термоподготовки  (модуль термообработки на горячей плите и модуль охлаждения на холодной плите);
• Устройство проявления и задубливания (модуль центрифугирования (проявления, промывки и удаления капельной влаги) и модуль термообработки);
• Устройство  термостабилизации (модуль охлаждения на холодной плите);
• Устройство термообработки 2 (2 модуля термообработки).

Компоновка треков из унифицированных технологических устройств позволяет реализовывать разнообразные технологические маршруты обработки.

• Максимальный состав 1 трека: загрузчик, приёмник и 3 технологических устройства.
• Минимальный состав 1 трека: загрузчик, приёмник и 1 технологическое устройство.

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:

• Автоматическая загрузка пластин из кассеты на позицию обработки, с последующим переносом пластин с позиции на позицию;
• Обработка пластин на «горячей плите»;
• Термостабилизация пластин на «холодной плите»;
• Проявление фоторезистивных пленок методом полива проявителя на вращающуюся поверхность пластины;
• Термообработка фоторезистивных пленок на «горячей плите»;
• Термостабилизация пластин на «холодной плите» перед приемкой обработанных пластин в кассету.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ: