«Развитие электронной и радиоэлектронной промышленности на 2013–2025 годы».

Создание нового специального технологического оборудования является важной и неотъемлемой частью правительственного курса развития имеющихся и создания новых высокотехнологичных производств, формирования научно-технической базы и повышения, с одной стороны обороноспособности и независимости страны, а с другой стороны, увеличения доли отечественных продуктов на внутреннем рынке, повышения их конкурентоспособности по сравнению с зарубежными аналогами и освоения новых экспортных рынков сбыта.

АО «Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения» в рамках реализации государственной программы Российской Федерации «Развитие электронной и радиоэлектронной промышленности на 2013–2025 годы», подпрограмма: «Развитие производства специального технологического оборудования» ведет разработки следующего нового оборудования: 

• установка индивидуальной химической обработки пластин методом погружения/объемного спрея;
• установка индивидуальной химической обработки пластин методом полива/одностороннего спрея;
• установка индивидуальной отмывки пластин;
• установка индивидуальной сушки пластин;
• кластер индивидуальной жидкостной химической обработки пластин.

В результате выполняемых работ будет создано новое отечественное оборудование, предназначенное для выполнения операций травления, очистки, отмывки и сушки пластин диаметром до 200 мм.

Выполняемые работы в рамках реализации комплексного проекта способствуют обеспечению технологической независимости в области критических товаров, технологий двойного назначения и традиционных технологических маршрутов изготовления ЭКБ.