Установка СО2 обогащения деионизованной воды (СО2 Bubbler)

 

CO2 bubbler, контроль сопротивления деионизованной воды

НАЗНАЧЕНИЕ:

Установка предназначена для снижения удельного сопротивления деионизованной воды до установленного значения (0,5-1 МОм/см).

ПРИМЕНЕНИЕ:

  • Резка полупроводниковых пластин;
  • Скрайбирование полупроводниковых пластин;
  • Отмывки пластин методом полива, в том числе с использованием мегазвука;
  • Очистка струей высокого давления;
  • Очистка маски пластин;
  • При других операциях, требующих снижения статического заряда.

 ПРЕИМУЩЕСТВА:

  • Уменьшения налипания частиц на инструмент и кристаллы при резке пластин и снижения повреждений пластин  вызванных статическим зарядом;
  • Стабильное поддержание заданного параметра удельного сопротивления деионизованной воды при помощи ПИД регулятора;
  • Легкость подключения установки к деионизованной воде и углекислому газу за счет применения быстроразъемных соединений;
  • Увеличение срока службы режущего инструмента на операциях резки полупроводниковых пластин;
  • Уменьшение вероятности повреждения полупроводниковых структур статическим напряжением;
  • Увеличение чистоты пластин при отмывке после механической обработки;
  • Компактные габариты позволяют разместить установку рядом с технологическим оборудованием;
  • Увеличение процента выхода годных изделий и снижение себестоимости продукции.

ПРИНЦИП:

Принципом работы установки является эжектирование воды, с точно заданным уровнем обогащения СО2, в основной поток деионизованной воды. При этом, контролируемое потребление СО2 и отсутствие дополнительных устройств обеспечивает экономичность работы установки и низкое энергопотребление. Установка имеет простой, интуитивно понятный интерфейс, в также световую и звуковую сигнализацию о нештатных ситуациях.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ: 

ХАРАКТЕРИСТИКИ Ед.изм. УОДВ-10
Диапазон задания сопростивления МОм/см от 0,1 до 1
Отклонение сопротивления от заданного значения  ± 10
 Производительность л/мин от 3 до 10
 Электропитание 230 В, 50 Гц, 1 фаза 
 Потребляемая мощность, не более Вт   100
 Габаритные размеры не более (ДхШхВ) мм 500х300х550 
 Масса реионизатора, не более кг  30
 Требование к рабочей среде:    
 - Деионизованная вода:    
 -- Давление МПа от 0,3 до 0,5 
 -- Температура 0С от 20 до 25 
 -- Удельное сопротивление МОм/см  от 10 до 18 
 - СО2:    
 -- Давление МПа  0,2 - 0,4 
 -- Чистота  СО2, не менее 99,5 
*Внешний вид оборудования и некоторые характеристики могут отличаться от представленных здесь

Скачать описание в формате PDF

Copyright MAXXmarketing GmbH