Установка СО2 обогащения деионизованной воды (СО2 Bubbler)

НАЗНАЧЕНИЕ:

Установка предназначена для снижения удельного сопротивления деионизованной воды до установленного значения (0,5-1 МОм/см).

ПРИМЕНЕНИЕ:

• Резка полупроводниковых пластин;
• Скрайбирование полупроводниковых пластин;
• Отмывки пластин методом полива, в том числе с использованием мегазвука;
• Очистка струей высокого давления;
• Очистка маски пластин;
• При других операциях, требующих снижения статического заряда.

 ПРЕИМУЩЕСТВА:

• Уменьшения налипания частиц на инструмент и кристаллы при резке пластин и снижения повреждений пластин  вызванных статическим зарядом;
• Стабильное поддержание заданного параметра удельного сопротивления деионизованной воды при помощи ПИД регулятора;
• Легкость подключения установки к деионизованной воде и углекислому газу за счет применения быстроразъемных соединений;
• Увеличение срока службы режущего инструмента на операциях резки полупроводниковых пластин;
• Уменьшение вероятности повреждения полупроводниковых структур статическим напряжением;
• Увеличение чистоты пластин при отмывке после механической обработки;
• Компактные габариты позволяют разместить установку рядом с технологическим оборудованием;
• Увеличение процента выхода годных изделий и снижение себестоимости продукции.

ПРИНЦИП:

Принципом работы установки является эжектирование воды, с точно заданным уровнем обогащения СО₂, в основной поток деионизованной воды. При этом, контролируемое потребление СО₂ и отсутствие дополнительных устройств обеспечивает экономичность работы установки и низкое энергопотребление. Установка имеет простой, интуитивно понятный интерфейс, а также световую и звуковую сигнализацию о нештатных ситуациях.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ: