Химическая обработка шаблонных заготовок (проявление фоторезиста, травление маскирующего слоя, удаление фоторезиста, промывка)
Оборудование для обработки шаблонных заготовок (проявление фоторезиста, травление маскирующего слоя, удаление фоторезиста и промывка)
Выполнение технологических операций на шаблонных подложках при изготовлении шаблонов в автоматическом режиме.