НАЗАНЧЕНИЕ:
Линии химической обработки пластин/подложек предназначены для химической обработки пластин/подложек в растворах плавиковой, серной, соляной, азотной, фосфорной, уксусной кислот, перекиси водорода, аммиака и их смесей, с последующей промывкой в деионизованной воде и сушкой (или без сушки).
- Линии обеспечивают групповую химическую обработку пластин, размещённых в кассетах, без повреждения поверхности пластин;
- Линии имеют модульную структуру, в каждом модуле находятся две или три технологические позиции (ванны). Объем ванны (6 л, 20 л, 25 л, 30 л) определяется размером обрабатываемых пластин и количеством размещаемых в ней кассет (1 или 2). Количество технологических позиций определяется техпроцессом;
- Процессы химической обработки и отмывки пластин автоматизированы;
- Предусмотрен контроль текущего состояния задаваемых технологических параметров;
- Технологические позиции (ванны) оборудованы механически закрывающимися крышками;
- Загрузка–выгрузка кассет с пластинами, перемещение кассет между технологическими ваннами осуществляется автоматически в соответствии с заданным технологическим маршрутом.
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ:
- Блок подготовки и подачи химических реактивов обеспечивает автоматическое заполнение ванн, поддержание уровня и слив отработанных химических реактивов в емкости для транспортировки на утилизацию, при необходимости может быть организован рецикл рабочих сред;
- Конструкцией линии предусмотрена фильтрация растворов при заполнении ванн;
- Контроль отмывки пластин в ваннах каскадной промывки с деионизованной водой осуществляется с помощью измерения сопротивления воды, которое производится с помощью кондуктометрического датчика, расположенного в кармане перелива;
- Ванны химической обработки оснащены «азотным ножом» для направления химических паров при открытой крышке, от оператора в вытяжную вентиляцию;
- Ванны для химобработки изготавливаются из фторопласта (или футеруются фторопластом или покрытием Tefzel), проточные части, контактирующие с реагентами и деионизованной водой, изготавливаются из фторопласта, станины модулей и ванны промывки выполнены из полипропилена;
- Для поддержания температурного режима рабочих ванн используются нагревательные элементы, спроектированные для работы с химически-агрессивными реактивами – они имеют фторопластовую оболочку;
- Все рабочие ванны с нагревателями оснащены датчиками уровня и температуры;
- Каждый технологический модуль оснащается фильтр-вентиляционным модулем для подачи ламинарного потока воздуха, подключается к системе вытяжной вентиляции.
СОСТАВ ЛИНИИ:
- Модуль загрузки-выгрузки кассет с изделиями;
- Агрегат технологической обработки (АТО), состоящий из модулей, содержащих необходимые ванны для проведения технологического процесса;
- Распределительный модуль приёма и хранения химических реагентов;
- В состав АТО входит отдельная позиция для сушки пластин;
- В состав АТО входят воздуховоды для подключения к внешней (цеховой) системе вытяжной вентиляции и локальная система подачи ламинарного потока очищенного воздуха в зону технологической обработки со степенью очистки Н14;
- В состав АТО входят блоки и узлы пневмогидравлики, обеспечивающие проведение технологических процессов;
- В состав АТО входят блоки и узлы подготовки и подачи жидких агрессивных технологических сред;
- Модуль управления, задания технологических программ обработки, маршрута транспортировки кассет с пластинами;
- Электрический силовой блок;
- Автоматизированную систему транспортировки, загрузки (выгрузки) кассет в ванны (из ванны) и их переноса между рабочими позициями в соответствии с заданным технологическим маршрутом.
