Автоматическая линия травления деталей из кварцевого стекла "ЛАДА-MQ"

НАЗНАЧЕНИЕ:

Автоматическая линия травления деталей из кварцевого стекла "ЛАДА-MQ" предназначена для травления деталей из кварцевого стекла в смеси плавиковой и серной кислот с последующей промывкой в деионизованной воде и инфракрасной сушке в потоке азота.

Teh

 ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ВОЗМОЖНОСТИ:

  • химическая обработка кварцевых деталей в растворах кислот;
  • промывка кварцевых деталей в «стоп – ванне»;
  • финишная промывка кварцевых деталей в деионизованной воде;
  • сушка кварцевых деталей;
  • в состав линии входят модуль загрузки, модуль выгрузки, 3 модуля химической обработки, модуль сушки, связанные единой транспортной системой, а также 2 модуля подачи и рециркуляции химического реактива, модуль подготовки деионизованной воды и воздуха, силовой шкаф;
  • данная конфигурация линии может быть применена для обработки пластин диаметром до 150 мм.

Teh

ОСОБЕННОСТИ:

  • Процессы химической обработки и отмывки кассеты с кварцевыми деталями автоматизированы;
  • Контроль текущего состояния задаваемых технологических параметров;
  • Конструкцией автоматической линии предусмотрена фильтрация растворов при заполнении ванн; Конструкцией ванны химической обработки предусмотрен режим скоростного слива раствора кислот в промежуточную ёмкость, душирование кассеты с кварцевыми деталями посредством распылителей деионизованной водой в пространстве 8D:

- двойное диагональное, от верхнего края ванны вдоль широкой стенки к нижнему углу ванны;

- двойное вертикальное, от крышки ко дну ванны и от дна ванны к крышке ванны;

- двойное горизонтальное, от широких боковых стенок ванны к её центру и двойное горизонтальное от узких боковых стенок ванны к её центру.

  • Блок подачи химических реактивов обеспечивает автоматическое заполнение ванн и поддержание уровня, приемо-возвратную перекачку химического реактива в ходе технологического процесса, слив отработанных химических реактивов в емкости для транспортировки на утилизацию;
  • Групповая обработка кварцевых деталей в специальных фторопластовых кассетах;
  • Операционное и межоперационное движение кассеты с кварцевыми деталями в линии производится линейным роботом в автоматическом режиме;
  • Контроль отмывки кассеты с кварцевыми деталями в ваннах промывки деионизованной водой осуществляется с помощью измерения сопротивления воды;
  • Корпуса модулей агрегата технологической обработки и блоков подачи химреактивов выполнены из полипропилена;
  • Ванны для химобработки, проточные части и специальные кассеты, контактирующие с реагентами и деионизованной водой, изготавливаются из фторопластов (Ф-4/Ф-2М/PTFE/PVDF/PFA);
  • Все рабочие ванны с нагревателями оснащены датчиками уровня и температуры.

 

Teh

Copyright MAXXmarketing GmbH