Установка химической обработки в органическом растворителе "УООР-150М"

НАЗНАЧЕНИЕ:

Установка химической обработка в органическом растворителе "УООР-150М" предназначена для химической обработки пластин и подложек размером 48х50 мм в органическом растворителе (спирт изопропиловый ГОСТ 9805-84) с последующей промывкой в деионизованной воде.

ОСОБЕННОСТИ:

  • Промывка деионизованной водой в стоп-ванне (душ, объемная промывка, быстрый слив);
  • Промывка деионизованной водой в ванне промывки (в проточной воде);
  • Контроль качества промывки в ванне финишной промывки;
  • Установка подключается к системе приточно-вытяжной вентиляции;
  • Нагрев, фильтрация и рециркуляция органического растворителя происходит в специальном блоке;
  • Фильтрация органического растворителя осуществляется посредством рециркуляции потока через титановый или нержавеющий картриджи (спеченные);
  • Нагрев органического растворителя осуществляется посредством рециркуляции потока через теплообменник размещенный в объеме кремнийорганической жидкости нагретой спиральным фторопластовыми погружными нагревателями;
  • Материал ванн, теплообменника, корпуса основного модуля, блока фильтрации, нагрева и рециркуляции – нержавеющая сталь;
  • Ванна химической обработки имеет специальный кожух для рециркуляции дополнительного потока нагретой кремнийорганической жидкости;
  • Ванна химической обработки располагает водоохлаждаемыми нержавеющими полукрышками (для конденсации паров органического растворителя и стекания обратно в ванну) и азотным «ножом».

 

Установка химической обработки пластин в органическом растворителе УОР-150М

Copyright MAXXmarketing GmbH