Комплекс химического/иммерсионного осаждения металлических слоев ГЕКСАР

Назначение:
Комплекс предназначен для селективного автокаталитического осаждения металлических слоев никеля/золота на контактные площадки кристаллов, расположенных на полупроводниковой пластине.

Состав комплекса:
• модуль загрузки кассет;
• агрегат технологической обработки (АТО), состоящий из модулей, содержащих соответствующие ванны для проведения технологического процесса; АТО изолирован от внешней среды; в состав АТО входят воздуховоды для подключения к внешней (цеховой) системе вытяжной вентиляции и локальная система подачи ламинарного потока очищенного воздуха в зону технологической обработки со степенью очистки Н14;
• модуль выгрузки кассет;
• модуль управления, задания технологических программ обработки и маршрута транспортировки кассет с пластинами;
• блок силовой;
• блоки пневмогидравлики;
• блоки подготовки и подачи жидких агрессивных технологических сред;
• блоки приёма и хранения отработанных реагентов;
• система транспортировки:
- загрузка кассет с пластинами на комплекс через шлюз;
- загрузки (выгрузки) кассет в ванны (из ванн) и переноса кассет между рабочими позициями в соответствии с заданным маршрутом;
- выгрузка кассет с пластинами из комплекса через шлюз.
• станина. 

Отличительные особенности:

• базовые технологические операции комплекса предполагают подготовку металла контактных площадок, нанесение слоев никеля и золота, межоперационную и финальную очистки и сушку пластин;
• конструкцией комплекса предполагается групповая обработка до 12 пластин диаметром 200 мм; также возможно переоснащение системы передачи кассеты между операциями для работы с пластинами диаметром 150 мм;
• система поддержания уровня рабочих реактивов, а также система промежуточной регенерации и дозирования полностью автоматизированы;
• модульное исполнение комплекса предполагает изменение технологического процесса по необходимости, путем добавления или демонтажа отдельных модулей;
• модули сконструированы с учетом максимального упрощения процесса обслуживания исполнительных устройств и блоков без демонтажа смежных частей комплекса;
• конструкция комплекса предполагает организацию технологического процесса с загрузкой из «чистой зоны», однако проведение технического обслуживания и размещение основных элементов организовано вне «чистой зоны» для предотвращения нарушения условий проведения смежных процессов;
• комплекс смонтирован на каркасе из защищенного химстойким покрытием алюминиевого профиля для исключения возможной коррозии металла даже в случае непреднамеренной аварийной ситуации, связанной с утечкой химических реактивов;
• в конструкции отдельных модулей предусмотрена аварийная сигнализация об утечке рабочих жидкостей;
• для поддержания температурного режима рабочих ванн используются нагревательные элементы, спроектированные для работы с химически-агрессивными реактивами; все рабочие ванны с нагревателями оснащены датчиками уровня и температуры;
• конструкцией модулей предусмотрено очищение растворов при помощи фильтров со сменными картриджами;
• в конструкции комплекса предусмотрено подключение к внешней вытяжной вентиляции над загрузочным и рабочими модулями, обеспечивающей отвод вредных веществ из воздуха рабочей зоны до уровня ниже ПДК согласно ГОСТ 12.1.005;
• в конструкции комплекса предусмотрены прозрачные панели с передней стороны для обеспечения визуального контроля за процессом перегрузки кассет, а также основными технологическими процессами;
• в рабочей зоне кассета с пластинами перемещается с помощью манипулятора по заданному маршруту и обрабатывается в соответствии с заданными режимами обработки в каждом модуле;
• каждый из модулей имеет сетевое сообщение с центральным обрабатывающим блоком на основе промышленного компьютера с интерфейсом управления на основе сенсорного экрана.

Система управления комплексом:

Система управления построена на базе промышленного ПК.

Многоуровневая система управления проводит непрерывный мониторинг технологических параметров и осуществляет диагностику состояний всех модулей и систем комплекса.

Программное обеспечение комплекса обеспечивает:

• гибкое программирование технологического процесса на каждом модуле и блоках комплекса;
• составление и хранение библиотеки технологических программ для каждого модуля,
• гибкое программируемое управление параметрами модулей и блоков комплекса, дозаторов реагентов и нагревателей в пределах их диапазонов регулирования;
• контроль текущего состояния всех  исполнительных  механизмов  и устройств каждого модуля и блока комплекса;
• контроль текущего состояния сервисных систем;
• контроль текущего состояния задаваемых технологических параметров;
• диагностику работоспособности комплекса, локализацию неисправностей и их возможную причину;
• формирование  и  хранение  в оперативной и постоянной памяти необходимого  количества технологических рецептов на  каждый  технологический модуль;
• формирование и хранение в оперативной и  постоянной  памяти  необходимого количества  технологических маршрутов обработки пластин на комплексе.

Технические характеристики комплекса