Полуавтоматическая установка нанесения фоторезиста НФ-150П

НАЗНАЧЕНИЕ:

Нанесение фоторезистивных плёнок на гладкую и рельефную поверхность пластин и подложек.

Состав установки:

  • Модуль нанесения фоторезиста;
  • Блок электрический;
  • Система управления установкой;
  • Емкость для растворителя;
  • Емкость для сбора отработанного фоторезиста.

Технологические возможности установки:

  • Подача фоторезиста на пластину в статическом и динамическом режимах (сканирование);
  • Подача фоторезиста насосом-дозатором;
  • Удаление фоторезиста с торца пластин;*
  • Удаление краевого валика;*
  • Автоматическая промывка ванны растворителем;
  • Автоматически регулируемая вытяжная система модуля нанесения.

 * - данные опции выполняются только при обработке пластин круглой формы.


ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:

  • Нанесение фоторезистивных пленок методом центрифугирования;
  • Установка соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р(10)100 («чистое помещение» класса 5 ИСО по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2002).

Teh

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

ХАРАКТЕРИСТИКИ Ед. изм. «НФ-150П»
Диаметр обрабатываемых пластин мм 51, 76, 100, 150
Размер обрабатываемых подложек мм 25х25, 48х60, 76х76, 102х102
Диапазон задания скорости вращения ротора центрифуги об./мин 300 ÷ 7000
Дискретность скорости вращения ротора центрифуги об./мин 10
Диапазон задания ускорения вращения ротора центрифуги (об/мин.)/с 10 ÷ 10000
Дискретность ускорения ротора центрифуги (об/мин.)/с 100
Диапазон дозирования фоторезиста мл 0,5 ÷ 5,0
Электропитание:    
 - сеть переменного тока В 380/220 
 - частота Гц 50
Мощность потребляемая установкой кВт 2,5
Габаритные размеры установки (ДxШxВ) мм 905 х 459 х 1090 
Copyright MAXXmarketing GmbH