Полуавтоматическая установка проявления фоторезиста с термообработкой ПФТО-150П

НАЗНАЧЕНИЕ:

Проявление фоторезистивных пленок на гладких и рельефных поверхностях пластин и подложках с последующей термообработкой.

Состав установки:

  • модуль проявления фоторезиста;
  • модуль термообработки;
  • блок электрический;
  • система управления установкой;
  • система подачи проявителя;
  • ёмкость для проявителя;
  • станина.

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:

  • Проявление фоторезистивных пленок методом полива проявителя на вращающуюся поверхность пластины.
  • Подача проявителя на пластину в статическом и динамическом режимах (сканирование).
  • Термообработка фоторезистивных пленок на «горячей плите».
  • Многоуровневая система управления установкой позволяет проводить непрерывный мониторинг технологических параметров и осуществлять диагностику состояния механизмов и систем.
  • Установка выполнена в соответствии с ГОСТ 12.2.003, ГОСТ 12.2.007.0., соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р(10)100 («чистое помещение» класса 5 ИСО по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2002).

Teh


ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

ХАРАКТЕРИСТИКИ Ед. изм. «ПФТО-150П»
Диаметр обрабатываемых пластин мм 51, 76, 100, 150
Размер обрабатываемых подложек мм 25х25, 48х60, 76х76, 102х102
Диапазон задания скорости вращения ротора центрифуги  об/мин. 300 ÷ 7000
Дискретность скорости вращения ротора центрифуги об/мин. 10
Диапазон задания ускорения вращения ротора центрифуги (об/мин.)/с 10 ÷ 10000
Дискретность ускорения ротора центрифуги  (об/мин.)/с 100
Диапазон и точность поддержания температуры плиты:    
  700 ÷ 1200 °С ± 0,3
  1200 ÷ 1500 ± 0,5
  1500 ÷ 2000 ± 1
Величина зазора, на котором проводится термообработка мм 0 ÷ 0,15
Диапазон задания времени обработки с 1,0 ÷ 999
Дискретность задания времени обработки с 1
Диапазон дозирования проявителя мл 0,5 ÷ 5,0
Электропитание:    
 - сеть переменного тока В 380/220
 - частота Гц 50
Мощность потребляемая установкой кВт 2,5
Габаритные размеры (ДxШxВ) мм 610 х 480 х 1075
Copyright MAXXmarketing GmbH