Установка двухсторонней индивидуальной отмывки шаблонов УОФ-127П

Установка двухсторонней индивидуальной отмывки шаблонов УОФ-127П

НАЗНАЧЕНИЕ:

Полуавтоматическое проведение процесса двухсторонней отмывки фотошаблонов путем последовательной обработки поверхности. Ручная поштучная загрузка (выгрузка) фотошаблонов. Установка может быть оборудована зоной обеспыливания.

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:

  • Двухсторонняя очистка фотошаблонов в блоке гидромеханической очистки раствором и деионизованной водой;
  • Двухсторонняя мегазвуковая очистка поверхности фотошаблона на центрифуге деионизованной водой;
  • Двухсторонняя промывка на центрифуге деионизованной водой;
  • Удаление капельной влаги центрифугированием;
  • Сушка на «горячей плите» с гарантированным зазором;
  • Многоуровневая система управления установкой позволяет проводить непрерывный мониторинг технологических параметров и осуществлять диагностику состояния механизмов и систем;
  • Гибкое программирование технологического процесса;
  • Возможность работы в ручном режиме позволяет осуществлять автономное включение и выключение каждого механизма установки, задавать режимы обработки, осуществлять подачу раствора, деионизованной воды и азота на обдув, устанавливать температуру на плитке, контролировать ее и осуществлять задание технологических программ обработки на установке;
  • Установка соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р(10)100 («чистое помещение» класса 5 ИСО по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000).

Установка двухсторонней индивидуальной отмывки шаблонов УОФ-127П

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ: 

ХАРАКТЕРИСТИКИ Ед.изм. УОФ-127П
Размер обрабатываемых фотошаблонов мм 102 х 102 х 2,3
127 х 127 х 2,3
Диапазон времени выполнения каждой операции с 1 ÷ 999
Диапазон времени подачи раствора на блоке гидромеханической обработки с 1 ÷ 99
Тип мегазвукового излучателя тип пьезокерамика
Частота мегазвуковой обработки мГц 1,65
Диапазон регулирования угловой скорости вращения ротора центрифуги об./мин 300 ÷ 300
Диапазон регулирования температуры плиты на блоке сушки ºС 80 ÷ 120
Мощность потребляемая установкой, не более кВт 3,2
Габаритные размеры (Д x Ш x В) мм 1420 x 975 x 1190