НАЗНАЧЕНИЕ:
Кластерные линии фотолитографии, объединяющие операции формирования фоторезистивной маски для технологического процесса с проектными нормами до 0.35÷0,18 мкм на пластинах диаметром 150 и 200 мм, представляет собой высокотехнологичное оборудование для выполнения этапов очистки пластин, обработки промотором адгезии, нанесения фоторезиста, сушки, термостабилизации, проявления. Производительность 35 пластин в час.
CОСТАВ КЛАСТЕРНОЙ ЛИНИИ ФОТОЛИТОГРАФИИ ДЛЯ АВТОНОМНОЙ РАБОТЫ (БАЗОВЫЙ ВАРИАНТ):
- модуль загрузки/разгрузки (4 кассеты) – 1 шт.;
- модуль нанесения фоторезиста – 1 шт.;
- модуль нанесения антиотражающего покрытия – 1 шт.;
- модуль проявления фоторезиста – 1 шт.;
- модуль мегазвуковой обработки – 1 шт.;
- модуль обработки в парах ГМДС – 1 шт.;
- модуль термообработки этажерочного типа (3 плиты) – 2 шт.;
- модуль термостабилизации этажерочного типа (3 плиты) – 2 шт.;
- транспортная система кластерной линии – центральный робот;
- станина для размещения модулей подачи ламинарного потока очищенного воздуха;
- блок задания технологических программ обработки и отображения информации о работе кластерной линии;
- блок управления работой кластерной линии;
- вспомогательное оборудование кластерной линии:
- блоки подготовки и подачи реагентов на рабочие позиции модулей;
- блоки термостабилизации фоторезиста и проявителя и контроля уровня;
- блок приёма и хранения отработанных реагентов.
СОСТАВ КЛАСТЕРНОЙ ЛИНИИ ФОТОЛИТОГРАФИИ (ДЛЯ РАБОТЫ СО СТЕППЕРОМ):
- модуль мегазвуковой очистки– 1 шт.;
- модуль термообработки в парах ГМДС – 1 шт.;
- модуль термостабилизации – 2 шт.;
- модуль нанесения (фоторезиста) – 1 шт.;
- модуль нанесения (антиотражающего покрытия) – 1 шт.;
- модуль термообработки этажерочного типа (3 плиты) – 2 шт.;
- модуль проявления фоторезиста – 1 шт.;
- модуль загрузки-выгрузки (2 кассеты)– 1 шт.;
- модуль перемещения робота – 1 шт.;
- модуль подачи ламинарного потока фильтрованного воздуха (4 блока)– 1 шт.;
- модуль транспортный (связь со степпером) - 1 шт.;
- блок задания программ и отображения информации – 1 шт.
- бокс технологический (подготовка и подача технологических сред) – 1шт.;*
- бокс электронный (управление работой всей кластерной линией) – 1 шт.*
* Данные боксы располагаются вне кластерной линии и могут находиться в технической зоне
ОСОБЕННОСТИ:
- Кластер может работать в двух форматах - автономно и в связи со степпером, для чего имеет в своем составе модуль загрузки и автоматической связи со степпером. Фотолитографический кластер позволяет проводить операции по формированию слоя резиста перед экспонированием и операции проявления и задубливания резиста после экспонирования;
- Модульно-кластерные линии представляют собой набор стандартизованных технологических модулей, осуществляющих различные виды фотолитографической обработки, размещённых в контролируемой воздушной среде на общей несущей раме замкнутой конфигурации и объединённых единым транспортным устройством в виде специализированного робота, размещённого на линейном транспорте, для перемещения кремниевых пластин от модуля к модулю. Модульная структура обеспечивает быстрое извлечение технологических модулей, блоков и систем для ремонта и профилактического обслуживания;
- Благодаря модульному исполнению, конструктивно кластер может быть оптимально выстроен под задачи реализуемого технологического процесса и соответствует требованиям полной автоматизации. Кластерный принцип также распространяется и для технологических процессов обработки подложек из других материалов и с другими размерами и геометрией, что позволяет применять платформу как для прикладных исследований и разработок, так и для серийного выпуска продукции.
