НАЗНАЧЕНИЕ:
Робот предназначен для использования в автоматическом фотолитографическом оборудовании, оборудовании гидромеханической и мегазвуковой очистки при обработке полупроводниковых пластин, прямоугольных подложек и фотошаблонных заготовок.
Особенности:
- Робот соответствует требованиям эксплуатации в помещениях «чистое помещение» класса 2 ИСО по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2002.
- Питание осуществляется от сети переменного тока напряжением 220 В, частотой 50 Гц. Нормы качества электрической энергии по ГОСТ 32144-2013.
- При эксплуатации робот должен быть подключен:
- к сети вакуума давлением не более 350 мм рт.ст. расходом не менее 10 м³/ч;
- к контуру заземления.
