НАЗНАЧЕНИЕ:
Выполнение технологических операций на шаблонных подложках при изготовлении шаблонов в автоматическом режиме.
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:
- Проявление фоторезиста;
- Травление маскирующего слоя;
- Удаление фоторезиста;
- Промывка деионизованной водой;
- Сушка центрифугированием;
- Индивидуальная обработка шаблонных подложек в центрифуге;
- Термостабилизация применяемых реактивов;
- Пульсирующая экономичная подача реактивов в процессе обработки;
- Многоуровневая система управления установкой позволяет проводить непрерывный мониторинг технологических параметров и осуществлять диагностику состояния механизмов и систем;
- Установка соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р(10)100 («чистое помещение» класса 5 ИСО по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000).
