Оборудование разработано в рамках комплексного проекта «Разработка и организация производства оборудования индивидуальной жидкостной химической обработки пластин диаметром до 200 мм в компоновке однопозиционных установок и роботизированного кластера» на основании Соглашения о предоставлении из федерального бюджета субсидии на финансовое обеспечение части затрат на создание научно-технического задела по разработке базовых технологий производства приоритетных электронных компонентов и радиоэлектронной аппаратуры № 020-11-2019-975 от 14 декабря 2019 г.
НАЗНАЧЕНИЕ:
Выполнение технологических операций на шаблонных подложках при изготовлении шаблонов в автоматическом режиме.
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И ОСОБЕННОСТИ:
- Проявление фоторезиста;
- Травление маскирующего слоя;
- Удаление фоторезиста;
- Промывка деионизованной водой;
- Сушка центрифугированием;
- Индивидуальная обработка шаблонных подложек на центрифуге;
- Термостабилизация применяемых реактивов;
- Экономичная подача реактивов в процессе обработки;
- Обработка шаблонных подложек по принципу «из кассеты в кассету» (для УХО-153А);
- Контроль уровня реактивов в емкостях (для УХО-153А);
- Многоуровневая система управления установкой позволяет проводить непрерывный мониторинг технологических параметров и осуществлять диагностику состояния механизмов и систем;
- Установка соответствует требованиям эксплуатации в помещениях класса Р5(100) («чистое помещение» класса ИСО 5 по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000).
